Occasion CANON / ANELVA P-875CA #9105082 à vendre en France

CANON / ANELVA P-875CA
Fabricant
CANON / ANELVA
Modèle
P-875CA
ID: 9105082
Cryo pump.
CANON/ANELVA P-875CA est un équipement de pompage haute performance et large gamme conçu pour les processus de gravure plasma. Ce système polyvalent offre une excellente vitesse de pompage et une excellente fiabilité pour l'environnement plasma exigeant. C'est une pompe à ions collective compacte, à débit élevé, à faible entretien, spécialement conçue pour le processus de gravure. CANON P-875CA peut être utilisé pour diverses applications en raison de sa vitesse de pompage supérieure et de son temps de récupération court. Sa conception en cinq étapes permet des vitesses de pompage élevées jusqu'à 875 litres par seconde avec un différentiel de pression très faible de 0,2 Torr. Cela permet de surveiller et de contrôler avec précision le processus de gravure, en tenant compte des besoins spécifiques de l'application. L'unité est équipée d'un contrôleur de jauge de vide, offrant une grande précision et flexibilité, ainsi que d'un détecteur d'instabilité de puissance à double fréquence qui peut détecter toute fluctuation de puissance dans la machine et alerter l'utilisateur. De plus, l'outil dispose d'une pompe latérale turbomoléculaire de haute qualité offrant une vitesse de pompage élevée, de faibles vibrations et une grande survivabilité. Afin d'assurer une excellente fiabilité, ANELVA P-875CA est conçu avec tous les composants nécessaires intégrés dans un boîtier monobloc en acier inoxydable et joints toriques individuels. Cela évite toute exposition à une contamination extérieure, évitant le risque d'endommager les composants intérieurs de l'actif. Dans l'ensemble, P-875CA est un modèle supérieur offrant une excellente performance et fiabilité. Il est parfait pour le processus de gravure en raison de son large éventail d'applications et de fonctionnalités telles que son contrôleur de jauge de vide, détecteur d'instabilité de puissance à double fréquence, et Turbo Molecular Side Pump. La conception monobloc du boîtier permet d'assurer la fiabilité à long terme de l'équipement et d'excellentes performances.
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