Occasion ACCRETECH / TSK ARTS-HS #9244273 à vendre en France
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ID: 9244273
Style Vintage: 2011
Rapid thermal system
Chiller unit for UF 2000 Tri-temp
2011 vintage.
ACCRETECH/TSK ARTS-HS est un processeur thermique rapide conçu pour servir de plate-forme idéale pour le développement de dispositifs à semi-conducteurs de puissance, y compris des modules de puissance et des ICs Driver. Le processeur utilise des technologies de traitement thermique rapide et d'application de la puissance pour obtenir des résultats de traitement thermique haute vitesse et précis en seulement 15 minutes. Il a un débit élevé, avec 10-15 plaquettes traitées en 15 minutes, et peut traiter une variété de tailles d'échantillons. Le processeur utilise un équipement à plaque chaude, monté sur un cadre en acier ou en aluminium, pour fournir un environnement thermique efficace pour un traitement thermique rapide. Le système de plaque chaude comprend un élément chauffant en céramique haute température et haute vitesse qui aide à chauffer la plaquette rapidement et uniformément. La plaque chaude comporte une série de capteurs de température intégrés afin d'assurer une régulation fiable et précise de la température. La température de la plaque chaude est également contrôlée par un régulateur de température PID basé sur la rétroaction des capteurs. TSK ARTS-HS peut être utilisé avec une variété de systèmes de distribution de gaz pour permettre un traitement thermique rapide et contrôlé. Il s'agit notamment de gaz porteurs, de gaz de purge et de gaz réactifs qui sont délivrés entre la plaque chaude et la plaquette d'échantillon. Le processeur peut également être utilisé avec des systèmes externes de distribution de gaz pour des applications telles que l'oxydation et la nitridisation. Le processeur est équipé d'un bras robot automatisé qui permet de déplacer la plaque chaude vers et depuis la plaquette d'échantillon, et de déplacer la plaquette d'échantillon vers un chargeur intégré pour stockage. Le bras robot dispose d'une unité de vision qui peut être utilisée pour surveiller l'avancement du traitement thermique et s'assure que les plaquettes sont alignées avec précision avec la plaque chaude. Une série d'emboîtements de sécurité sont incorporés dans le bras du robot qui empêchent le fonctionnement du processeur en cas d'éloignement de la plaque chaude de la plaquette d'échantillon. En outre, ACCRETECH ARTS-HS dispose d'une interface logicielle conviviale qui facilite le contrôle et la surveillance du fonctionnement du processeur. L'interface est accessible à partir d'un PC, d'une tablette ou d'un smartphone et comporte une gamme de paramètres qui peuvent être ajustés pour obtenir les résultats souhaités. Dans l'ensemble, ARTS-HS est un processeur thermique rapide avancé qui offre une précision à grande vitesse pour le traitement thermique des dispositifs à semi-conducteurs Power. Sa machine à plaque chaude, ses capacités de livraison de gaz, son bras robot et son interface logicielle conviviale se combinent pour offrir des performances exceptionnelles qui permettent d'économiser du temps et d'augmenter la productivité.
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