Occasion AG ASSOCIATES 410 #9140495 à vendre en France

AG ASSOCIATES 410 est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour traiter thermiquement une grande variété de substrats tels que SiO2, Si3N4, polymères, métaux, etc. L'équipement est capable de réaliser les procédés suivants en un seul cycle : recuit thermique, oxydation et recuit d'oxydation. 410 est un système fiable et répétable qui est conçu pour répondre aux exigences du dispositif semi-conducteur et du traitement MEMS. AG ASSOCIATES 410 est une unité de type lot qui se compose d'une chambre de procédé, d'un contrôleur et d'une machine à plaque chaude qui supporte quatre substrats à la fois. Il dispose d'une chambre de procédé en quartz cylindrique avec deux plaques en alliage d'aluminium pour fournir une température uniforme à travers le substrat. L'outil a une température maximale de fonctionnement de 800 ° C et est capable de monter à la température en aussi peu que 30 secondes avec une uniformité de ± 2 ° C sur le substrat. En outre, l'actif est équipé d'une fonction de circulation forcée de gaz qui permet un contrôle uniforme de la température sur plusieurs substrats. 410 est un modèle avancé qui offre un large éventail de caractéristiques, y compris la mesure et le contrôle de température avancés, l'alignement automatique des plaquettes, le fonctionnement de la serrure de charge, et les diagnostics à chambre distante. En outre, l'équipement dispose d'une plage de pression de 10Torr à 1000Torr et est compatible avec une variété d'atmosphères de chambre, y compris N2, H2, Ar et O2. En plus des fonctionnalités mentionnées ci-dessus, AG ASSOCIATES 410 offre également une interface utilisateur simple et intuitive qui permet une facilité de fonctionnement et des paramètres réglables. De plus, le système offre diverses fonctions analytiques et diagnostiques dont la gravure plasma O2 et l'analyse d'oxydation. En outre, il existe une interface MFC optionnelle qui permet une intégration facile avec une variété d'instruments d'analyse. Dans l'ensemble, 410 est une unité de traitement thermique rapide polyvalente et fiable qui offre une combinaison de précision, de vitesse et de répétabilité qui en font une solution parfaite pour une large gamme de dispositifs semi-conducteurs et d'applications de traitement MEMS. Ses fonctionnalités avancées et son interface conviviale le rendent facile à utiliser et à entretenir. C'est donc une machine idéale pour les fabricants ou les laboratoires de recherche qui ont besoin d'un outil RTP rapide et efficace.