Occasion AG ASSOCIATES 4100 #9146374 à vendre en France
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ID: 9146374
Taille de la plaquette: 3"-6"
Rapid thermal processors (RTP), 3"-6"
Includes:
Heating chamber: Two high intensity tungsten-halogen lamp arrays
System controller
Quartz isolation tube
Robot
Gas-control electronics
ULAP Filtration-system
Graphic user interface (GUI) computer system
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Extended range pyrometer (ERP)
Recipe storage: 3-1/2" Floppy disk-drive
Options:
Non contact wafer aligner
Susceptor autoloader
E-SECS
Slip free
Dual-color pyrometer
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Standard cassettes
Wafer handling: Automatic serial processing
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate:
Programmable
Range: 1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate:
Programmable
Temperature
Radiation dependent
Range: 1 – 180°C Per second
Maximum: 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +5°C to -9°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 7°C
Temperature uniformity: + 10°C
Includes: Manuals.
AG ASSOCIATES 4100 est un processeur thermique rapide conçu pour une variété d'applications de traitement. Cet équipement de pointe est conçu pour le chauffage, le recuit et la cristallisation. Il a une plage de température allant de -50C à + 800C, une empreinte d'échantillon jusqu'à 14 « x14 » et un pas de plaquette aussi bas que 2mm. Le système comprend une unité de transfert thermique rapide (RTTS) avec un bord chaud unique et des ailettes de refroidissement pour assurer une uniformité de température élevée et des transferts rapides d'échantillons. La machine dispose d'un contrôleur robuste avec un logiciel intuitif qui permet une programmation facile et un fonctionnement à haut débit. Il dispose également d'une lampe infrarouge haute puissance qui permet des rampes de température rapides et le temps de cycle rapide. L'ensemble de l'outil est enfermé dans une chambre contrôlée par la température et l'humidité pour assurer des résultats de processus reproductibles. L'actif utilise un élément de chauffage en acier inoxydable et offre à l'utilisateur des profils de chauffage personnalisés. Il est également équipé d'un capteur thermique monté sur le porte-substrat pour contrôler la température de l'échantillon. Cela permet à l'utilisateur d'adapter le profil thermique aux besoins de son application. 4100 est un modèle haut de gamme conçu pour la recherche, la production et l'industrie. Il offre une variété d'applications différentes, y compris le recuit et la cristallisation, la diffusion, le dépôt de barrière de diffusion et le dopage des impuretés. Il convient également pour des applications telles que le four industriel, les fours à reflets et le clignotement thermique rapide. Dans l'ensemble, AG ASSOCIATES 4100 est un outil sophistiqué conçu pour une variété de besoins de traitement. Il offre une chambre polyvalente, contrôlée par la température et un équipement de transfert thermique rapide qui permet un traitement rapide des échantillons. Avec un contrôleur intuitif et des profils de chauffage personnalisables, ce système est une solution idéale pour une variété de besoins de recherche et de l'industrie.
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