Occasion AG ASSOCIATES 4100 #9146374 à vendre en France

AG ASSOCIATES 4100
ID: 9146374
Taille de la plaquette: 3"-6"
Rapid thermal processors (RTP), 3"-6" Includes: Heating chamber: Two high intensity tungsten-halogen lamp arrays System controller Quartz isolation tube Robot Gas-control electronics ULAP Filtration-system Graphic user interface (GUI) computer system Electronics Mass-flow-controlled gas handling Cooling ULPA Filtration Mechanical assemblies Extended range pyrometer (ERP) Recipe storage: 3-1/2" Floppy disk-drive Options: Non contact wafer aligner Susceptor autoloader E-SECS Slip free Dual-color pyrometer Applications: Silicon dielectric growth Implant annealing Glass re-flow Silicide formation and annealing Nitridation of metals Contact alloying Oxygen donor annihilation Standard cassettes Wafer handling: Automatic serial processing Throughput: Process dependent Ramp-up rate: Programmable Range: 1 – 180°C Per second Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step Ramp-down rate: Programmable Temperature Radiation dependent Range: 1 – 180°C Per second Maximum: 150°C per second Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C ERP Temperature accuracy: +5°C to -9°C Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC) Temperature repeatability: + 7°C Temperature uniformity: + 10°C Includes: Manuals.
AG ASSOCIATES 4100 est un processeur thermique rapide conçu pour une variété d'applications de traitement. Cet équipement de pointe est conçu pour le chauffage, le recuit et la cristallisation. Il a une plage de température allant de -50C à + 800C, une empreinte d'échantillon jusqu'à 14 « x14 » et un pas de plaquette aussi bas que 2mm. Le système comprend une unité de transfert thermique rapide (RTTS) avec un bord chaud unique et des ailettes de refroidissement pour assurer une uniformité de température élevée et des transferts rapides d'échantillons. La machine dispose d'un contrôleur robuste avec un logiciel intuitif qui permet une programmation facile et un fonctionnement à haut débit. Il dispose également d'une lampe infrarouge haute puissance qui permet des rampes de température rapides et le temps de cycle rapide. L'ensemble de l'outil est enfermé dans une chambre contrôlée par la température et l'humidité pour assurer des résultats de processus reproductibles. L'actif utilise un élément de chauffage en acier inoxydable et offre à l'utilisateur des profils de chauffage personnalisés. Il est également équipé d'un capteur thermique monté sur le porte-substrat pour contrôler la température de l'échantillon. Cela permet à l'utilisateur d'adapter le profil thermique aux besoins de son application. 4100 est un modèle haut de gamme conçu pour la recherche, la production et l'industrie. Il offre une variété d'applications différentes, y compris le recuit et la cristallisation, la diffusion, le dépôt de barrière de diffusion et le dopage des impuretés. Il convient également pour des applications telles que le four industriel, les fours à reflets et le clignotement thermique rapide. Dans l'ensemble, AG ASSOCIATES 4100 est un outil sophistiqué conçu pour une variété de besoins de traitement. Il offre une chambre polyvalente, contrôlée par la température et un équipement de transfert thermique rapide qui permet un traitement rapide des échantillons. Avec un contrôleur intuitif et des profils de chauffage personnalisables, ce système est une solution idéale pour une variété de besoins de recherche et de l'industrie.
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