Occasion AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 #9146305 à vendre en France
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ID: 9146305
Taille de la plaquette: 5"-8"
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy:
+3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C.
AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est un processeur thermique rapide de pointe conçu pour fournir des traitements thermiques précis. Il est capable de chauffer un réseau de plaquettes jusqu'à huit plaquettes simultanément, avec une sous-seconde de température pour l'efficacité et la précision. Heatpulse 4108 peut assurer une stabilité à la température remarquable sur les huit plaquettes, avec une précision thermique ± 0,3 ° C. AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est spécifiquement conçu pour des processus de chauffage rapide des plaquettes, permettant à l'utilisateur d'effectuer un traitement thermique complet en aussi peu que deux minutes. Il offre deux réglages de contrôle de zone, permettant des températures fiables et uniformes. Il dispose également d'un four de précision qui chauffe régulièrement la plaquette en tenant compte de la variation de température subsite inhérente aux réseaux de plaquettes denses. Grâce à son contrôleur avancé, Heatpulse 4108 est capable de fournir des profils de température précis et lisses. Il utilise une interface utilisateur intuitive et facile à utiliser pour une programmation et une acquisition de données simples. Pour les applications nécessitant des temps de chauffage et de refroidissement très rapides, AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 peut traiter tout un réseau de plaquettes en moins de 350 microsecondes. La chaleur 4108 peut être adaptée aux différents besoins de nombreuses applications, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le recuit à haute température (HTA) et le traitement thermique rapide (RTP). Il est idéal pour les applications de traitement thermique dans la fabrication optoélectronique, classique et avancée de dispositifs semi-conducteurs. Ce processeur thermique polyvalent et powerfulrapid est très économique, offrant un fonctionnement convivial, un contrôle de température de précision et un traitement thermique rapide. AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est un outil de traitement thermique fiable et précis, offrant des résultats cohérents avec des performances répétables de haute qualité.
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