Occasion AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 #9146306 à vendre en France
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ID: 9146306
Taille de la plaquette: 5"-8"
Style Vintage: 1994
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy:
+3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1994 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est un processeur thermique rapide qui fournit des capacités de traitement thermique puissantes dans un emballage très compact. Ce système RTP est principalement utilisé dans les laboratoires de recherche et développement pour accélérer le processus de recuit et de traitement thermique rapide (RTP) des plaquettes semi-conductrices. Heatpulse 4108 est équipé d'une chambre de chauffage Substrat qui en fait un choix idéal pour des applications sensibles à la température telles que le recuit de couches minces. La chambre présente des chauffages de type tube en tube décalés horizontalement assurant une répartition plus uniforme de la température sur la surface du substrat et minimisant le gradient thermique. L'uniformité de température est encore optimisée pour une application donnée par la fonction de réglage du profil de température automatique (ATP). Cette caractéristique ajuste la puissance de chauffage pour optimiser la température de la zone chauffée lorsque le substrat se déplace de la zone de logement plein centre aux coins de la chambre. AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est équipé d'un logiciel qui fournit un contrôle entièrement automatisé pour les cibles de processus reproductibles pour jusqu'à 96 processus. Il offre également un accès à distance ethernet pour un fonctionnement pratique à partir d'un poste de travail où les utilisateurs peuvent surveiller des paramètres clés tels que des profils température/puissance/gaz/temps, reproduisant un processus répétable d'une plaquette à l'autre. Heatpulse 4108 comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité. Il dispose d'une alimentation de secours avec reconnexion automatique suite à des interruptions de puissance pour s'assurer que toutes les données sont protégées contre la perte ou la corruption. Le régulateur de pression intégré et le dispositif d'isolation aident à fournir la fiabilité du processus ultime. En conclusion, AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est un système RTP puissant et fiable qui offre d'excellentes capacités de traitement thermique et de recuit répétables. Sa petite taille combinée à ses nombreuses fonctions de sécurité et de contrôle en font un excellent choix pour les applications à petite échelle et sensibles à la température.
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