Occasion AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 #9146307 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9146307
Taille de la plaquette: 5"-8"
Style Vintage: 1993
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy:
+3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1993 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est un processeur thermique rapide à haut débit conçu pour des applications de processus rigoureuses. Avec un contrôle de température avancé, automatique et précis, Heatpulse 4108 offre un contrôle de processus maximum et la flexibilité. AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 utilise un puissant matériau source de carbure de silicium recouvert de quartz qui fournit un contrôle de température fiable et précis. Il a un taux de rampe rapide de 1000 degrés Celsius par seconde. Utilisant son régulateur de température avancé, Heatpulse 4108 peut ajuster rapidement et avec précision sa température, offrant aux utilisateurs une précision et une reproductibilité extrêmes. De plus, AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 offre une homogénéité thermique supérieure. Ses éléments chauffants multicouches en carbure de silicium recouverts de quartz assurent une répartition uniforme de la température sur l'ensemble de la plaquette. Il offre également un cycle thermique amélioré pour un meilleur rendement et une meilleure stabilité du procédé. Un des avantages du système Heatpulse 4108 est sa conception modulaire et flexible. Il peut être actionné soit en mode impulsion mono-temps, soit en mode impulsion multi-temps. De plus, AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 offre des paramètres faciles à configurer, permettant aux utilisateurs de créer leurs propres profils de cycle. Les utilisateurs peuvent choisir parmi une grande variété de tailles de plaquettes et installer des recettes de processus personnalisées. Pour des raisons de sécurité, Heatpulse 4108 est conçu avec un lock-out automatique, un noyau isolé et des dispositifs d'interception intégrés. Il a également des capacités de diagnostic de défaut avec protection interlock. Globalement, AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 est un processeur thermique rapide fiable et polyvalent. Son contrôle de température de précision, son homogénéité thermique améliorée et ses profils de cycles personnalisables le rendent idéal pour des applications complexes et rigoureuses.
Il n'y a pas encore de critiques