Occasion AG ASSOCIATES RTP-2106 #9045424 à vendre en France
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ID: 9045424
Taille de la plaquette: 3"-6"
Rapid thermal processor, 3"-6"
Applications:
Implant activation
Silicide formation
Oxide reflow (PSG & BPSG)
Alloying
Cassette to cassette
Microprocessor controlled
Wafers per hour throughput: 60-100
Depending on anneal cycle
Temperature range: 400-1250ºC
Anneal time: 1-300 Seconds
Electrical requirements:
208-240V, 3 Ohm
60A Maximum
Water requirements: 2 GPM at 60-75 PSG.
AG ASSOCIATES RTP-2106 Rapid Thermal Processor (RTP) est un processeur thermique standard conçu pour traiter les matériaux rapidement et efficacement. Il utilise des procédés thermiques de haute puissance soigneusement contrôlés pour traiter des matériaux tels que des plaquettes semi-conductrices, des écrans plats et des dispositifs microélectroniques. Cet outil polyvalent peut être utilisé pour recuit, activer, oxyder, enfoncer ou déposer des films sur des substrats. RTP-2106 est équipé de l'équipement de contrôle le plus récent avec des capacités avancées de profilage thermique basé sur algorithme, ainsi que l'enregistrement intégré des données. Des capteurs avancés et plusieurs chambres permettent un contrôle optimal de la température et une répartition uniforme de la chaleur. AG ASSOCIATES RTP-2106 est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1010 ° C avec un taux de précision de +/- 2 ° C Cette machine permet également des temps de cyclage rapides, entraînant des temps d'exposition plus courts, des temps de processus plus rapides et des rendements plus élevés. RTP-2106 dispose également de dispositifs de sécurité intégrés, tels que la protection contre les températures excessives, le blindage SS amovible, un système d'avertissement LED avec arrêts automatiques et un bouton d'arrêt d'urgence. L'unité est également équipée d'une machine à vide intégrée, assurant une ventilation correcte des vapeurs générées. AG ASSOCIATES RTP-2106 est conçu avec une faible empreinte, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans de petits laboratoires. L'outil est facile à programmer et à utiliser et peut être personnalisé pour répondre aux besoins spécifiques de chaque environnement. En outre, RTP-2106 est livré avec des fonctionnalités d'analyse de données efficaces, un accès sécurisé par mot de passe et une multitude d'outils de traçabilité. Dans l'ensemble, AG ASSOCIATES RTP-2106 est un processeur thermique rapide avancé conçu pour fournir des performances fiables et efficaces à un prix compétitif. Le large éventail de fonctionnalités et les protocoles de sécurité intégrés font de cet atout un choix idéal pour tout laboratoire à la recherche d'un processeur thermique polyvalent et efficace.
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