Occasion ALLWIN21 AW 1008 #9201817 à vendre en France
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ID: 9201817
Taille de la plaquette: 3"- 6"
Plasma etcher, 3"- 6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Plasma power: Microwave
Types:
Parallel
Single wafer process
Gas Lines: 1-4
Production-proven plasma stripper / Asher system
Frontside and backside isotropic removal
Microwave 1000W: 2.45GHz
Pressure control with throttle valve
Main frame with breakers, relays and wires
Keyboard, mouse, cables
EMO, interlocks, and watchdog function
Quartz tray:
3-4 inch, 4-6 inch, 5 inch, 6 inch, others
Fixed cassette stations:
One station
Two stations
Lamp heat module and quartz window
6" Quartz showerhead and 5" diffusion disk
Main control
Distributor PCB and DC
Integrated solid robot: H1-7 x 10.5
Waveguide and quartz plasma tube
Chamber top plate and body:
Close loop temperature control (CLTC)
Blowers:
Magnetron
Waveguide
MFCs:
1 MFC, 2 MFCs, 3 MFCs, 4 MFCs
CLTC:
AC Box
Lamp control PCB
Main vacuum valves:
Fast pump: Two, one
Slow pump: One
MKS Baratron
Throttle valve
Front EMO, interlocks
Touch screen GUI, 15"
Options:
EOP Module with PCB
Lamp tower alarm function
Vacuum pump
Downstream ashing: NO
Bulk resist removal
Single wafer process
High-dose implanted resist
Non-oxidizing metal processing
Descum
Pressure: 1.75 to 2.5 Torr
Gas flow:
O2: 4.5 SLPM
N2: 0.5 SLPM
Variable lamp time: 0-9999 seconds (AW)
Variable temperature: 150°C – 350°C
Vacuum chamber pump: 165 cfm
Cabinet exhaust: >250 cfm
Plumbed gases:
O2
N2
Asher rate: 1.5u-5u/min
Positive photoresist: >8u/min
Negative
Photoresist
Uniformity: 15% Process dependent
Particulate: <0.05 /cm2
Selectivity: >1000:1
MTBF / MTTN / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours or better 95%
Electrical requirements:
208VAC
3 Phase
60Hz
30Amps.
ALLWIN21 AW 1008 est un processeur thermique rapide conçu pour un traitement thermoélectrique rapide, précis et fiable des substrats jusqu'à 8 pouces de taille. Cet équipement est adapté pour transformer le silicium cristallin en une variété de produits tels que des dispositifs de puissance, des circuits intégrés (IC) et des transistors à couches minces (TFT). Il peut également être utilisé pour l'élimination de dopants, la croissance d'oxydes de grille extrêmement minces, la passivation de diélectriques inter-niveaux, la planarisation et le nettoyage de substrats pour des applications ultérieures. Le processeur thermique rapide AW 1008 dispose d'un faible budget thermique de 0,5 milliWatt-Seconds pour une plus grande fidélité au processus. Il offre également un contrôle précis de la température et une réponse thermique rapide avec sa fonction de programmation de température rapide (RTP). RTP permet au processeur d'ajuster les températures aux consignes hebdomadaires avec une vitesse, une précision et une répétabilité élevées. Le système utilise une chambre de réponse chauffée et un mandrin chauffé pour une répartition uniforme de la température et un transfert de chaleur efficace vers le substrat. L'unité dispose également d'un thermocouple dédié qui utilise une thermopile isolée avancée pour surveiller et contrôler la température du substrat en temps réel. La plage de température de la machine peut être réglée de -270 ° C à 1100 ° C, et la précision de température est de +/- 1 ° C ALLWIN21 Le processeur thermique rapide AW 1008 comprend également d'autres fonctionnalités de commodité telles que le contrôle automatique du débit de gaz et la capacité de gravure de plasma. De plus, une mémoire de recette unique en option vous permet de stocker jusqu'à 10 recettes de processus prédéfinies pour une récupération facile. Le processeur est également équipé d'une console de commande tactile qui permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres du processus. Ce processeur est idéal pour un large éventail d'applications de traitement thermique telles que le recuit d'oxyde, la gravure d'oxyde de grille, l'oxydation de grille, les procédés thermiques assistés par plasma, le dopage, la passivation, le nettoyage de zone active et le dépôt diélectrique inter-niveaux. Il est compatible avec les plaquettes et substrats standards de 200mm tels que le silicium, le germanium de silicium et le nitrure de gallium. Dans l'ensemble, AW 1008 est un processeur thermique rapide fiable et efficace conçu pour fournir un excellent contrôle de la température, des temps de réponse rapides et une précision de processus améliorée pour un large éventail d'applications.
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