Occasion ALLWIN21 AW 105R #9201878 à vendre en France
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ID: 9201878
Taille de la plaquette: 2"-6"
Plasma etcher, 2"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: 600W Air-cooled
Type: Parallel / Single wafer process
Gas lines: 1-3 Lines MFCs
Main frame with circuit breakers, solenoid valves
Keyboard, mouse, cables
Anodized reactor with door
Chamber base plate with water sensor
Upper and lower electrodes
Quartz showerhead & diffusion disk
Main control and distribution PCBs
RF Matching network with PCBs
RF Generator: 13.56MHz
Center aligner / Cassette station:
Two dimensions
Four dimensions
Base plate and ceramic ring:
Reactor
Chuck
In-line filter and solenoid isolation valve:
One MFC
Two MFCs
Three MFCs
AC/DC Box: Temperature controller
MKS Baratron: Isolation valve
Throttle valve
Main vacuum valve
Front EMO, interlocks
Touch screen GUI, 15"
Asher rate: 0.5-1.5 um/Min (200 to 250 ºC)
Bulk strip: 600 A/Min (100 ºC)
Uniformity: <±8% (Max-min)
Strip: <±5% (Max-min)
Particulate: <0.05/cm2
Selectivity: >1000:1
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours / Better
Production-proven plasma asher / Descum
Uniformity: Up to 3%-5%
Frontside and backside isotropic removal
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Element heating: Up to 250°C
Wafer capability (50mm-150mm): Up to 6.25” substrate
Thickness wafer: 50um
Options:
End-of-process (EOP)
Vacuum pump
Chiller: Chamber base plate
Applications:
GaAs, InP, GaN, SiC Wafer strip
GaAs, InP, GaN, SiC Wafer descum
Thin film head resist cleaning
Opto-electronic devices cleaning
MEMS
Photoresist stripping:
High dose implant
Rework
Post-polysilicon
Post-metal
Post-oxide
Controlled resist removal:
Post-develop descum
Uniformity capability: (<5% 1σ)
Plumbed process gases: O2, N2
Cooling water: GPM House circulating supply
Facility exhaust: 100 CFM
Power: 190-240VAC, single phase, 30A, 50/60Hz.
ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processeur est un équipement de traitement thermique précis idéal pour une large gamme de recherche et d'applications industrielles. L'équipement de pointe utilise un bloc chauffant en graphite robuste pour des performances constantes dans des températures allant jusqu'à 1250 ° C, et un régulateur de température ultra-précis pour fournir une précision et une stabilité inégalées pendant le fonctionnement. AW 105R est conçu pour permettre des cycles de chauffage et de refroidissement rapides, avec une durée moyenne de 5 minutes. Cela permet un traitement efficace et efficace de tout matériau de taille sans sacrifier la précision. ALLWIN21 AW 105R utilise une puissance nominale de 8.5kW, et dispose d'un système unique de porte emboîtée pour maximiser la sécurité pendant le fonctionnement. L'unité comprend une interface graphique intuitive, un contrôle de procédé sous vide-thermologie et un anémomètre/humidimètre pour assurer un environnement de processus sûr et propre. La machine est conçue pour un entretien facile et un fonctionnement efficace. AW 105R Rapid Thermal Processeur dispose d'un simple outil de pompage sous vide et d'un bloc chauffant en graphite de haute qualité avec mesure indépendante de la température. Avec un panneau de contrôle entièrement automatisé, les utilisateurs peuvent rapidement se lever et fonctionner avec une configuration minimale. ALLWIN21 AW 105R est équipé d'une scène motorisée puissante et d'une large gamme d'accessoires, y compris des chambres à quartz, des appareils de levage et des hauteurs de plaquettes multiples. L'atout est compatible avec une variété de substrats matériels : plaquettes de silicium, films de polymère, réseaux de nanotubes de carbone, biocapteurs, et plus encore. AW 105R est capable de traiter dans des conditions micro-électro-mécaniques (MEMS), et un analyseur à transformée infrarouge de Fourier (FT-IR) est utilisé pour assurer une analyse de la plus haute qualité des échantillons obtenus. L'ensemble de la machine est modulaire et conçu pour accueillir une variété de développements futurs. Bref, ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processor est le choix parfait pour ceux qui cherchent à traiter rapidement un large éventail de matériaux avec une précision et un contrôle de température complets. Grâce à sa puissance élevée et à ses fonctionnalités faciles à utiliser, les chercheurs peuvent être sûrs que leur échantillon est traité exactement comme nécessaire sans sacrifier aucun niveau de précision.
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