Occasion ALLWIN21 AW 901e #9201807 à vendre en France
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ID: 9201807
Taille de la plaquette: 3"-6"
Plasma etcher, 3"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: RF 13.56 MHz
Type: Parallel / Single wafer process
Stand alone
Gas lines: 1-3 Lines
Throughput: 30-60 WPH, Process dependent
Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability
Gas lines: (4) Gas lines with MFCs
Etcher rate:
AW-901eR: 0-8000A / minute
AW-903eR: 0-4000A / minute
Process dependent
Uniformity: Up to ±3%, Process dependent
Particulate: <0.05 / cm2
Selectivity:
901eR: 2-20:1
AW-903eR: 2-20:1
Process dependent
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours
Options:
EOP Module with PCB
GEM/SECS II Function
Lamp tower alarm with buzzer
Throttle valve pressure control
Vacuum pump
Chiller for chuck and chamber
Through the wall
Main frame, standard
Pentium class PC with
Keyboard
Mouse
USB
SW Backup
Cables
Chuck:3"-6"
Wafer aligner / Cooling station
3-Axis integrated solid robot:
H-Zero (Standard)
H1-7 x 10.5 (TTW)
Fixed cassette station:
Chuck assembly
901eR Non-anodized
903eR Anodized with flat
903eR Anodized with flat
903eR Non-anodized with flat
Reactor Assembly:
901eR Non-anodized
903eR Anodized
903eR Non-anodized
903eR High performance
Direct cooling
Non direct cooling
Pins:
Quartz
Ceramic SST
Centering ring:
Aluminum
Ceramic
Main control board:
Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves
RF Matching network with PCB
RF Generator: 13.56 MHz
MKS Elite: 300 HD
MKS Elite: 600 HD
MKS Elite: 1000 HD
ENI ACG 3
ENI ACG 10
AC / DC Box
ATM Sensor
UPC Pressure control
225 SCCM: 901eR
2000 SCCM: 903eR
MKS Baratron with peumatic Iiolation valve
Main vacuum valves
Front EMO interlocks
Touch screen GU, 15"
AW-901eR AW-903eR
Material etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride
Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He
Other gases CHCLF2 / None None
Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000
RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600
Temperature (C) 30 / 30 23
AC Power:
AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase
RF Generator: 200-240 VAC
PC / Monitor: 115 VAC
Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé pour une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs électroniques. Il s'agit d'un équipement multi-zones qui combine le chargement/déchargement d'échantillons à grande vitesse, le chauffage/refroidissement indépendant, le contrôle précis de la température et les capacités facultatives de réduction de l'hydrogène. Sa conception permet au système de fonctionner plus rapidement et plus efficacement que les systèmes RTP classiques, économisant du temps et des ressources. L'AW 901e utilise une unité de contrôle d'optimisation dynamique (DOCS) qui permet d'ajuster précisément les taux de chauffage et de refroidissement individuels en fonction des caractéristiques physiques de la charge. Ceci assure l'uniformité et la répétabilité du procédé, quel que soit le matériau traité. Il est également équipé d'une machine d'acquisition de données embarquée et d'une variété de fonctions d'alarme, permettant une surveillance et un enregistrement détaillés de divers aspects du processus. ALLWIN21 AW 901e utilise un processus en trois étapes pour assurer un chauffage et un refroidissement précis et reproductibles. La première étape est la rampe de température, qui atteint rapidement la température cible. La deuxième étape est un cycle d'immersion, qui permet à l'échantillon d'atteindre l'équilibre thermique. Ceci est suivi d'un refroidissement rapide, qui réduit rapidement la température et évite les dommages de l'échantillon. AW 901e est conçu pour être convivial, avec des recettes automatiques et des paramètres de contrôle de séquence qui permettent une configuration rapide et facile de l'ensemble du processus. Il dispose également de diverses fonctions de sécurité telles qu'une surchauffe du ventilateur et une détection de surchauffe. Cela permet un fonctionnement sûr, et assure la précision du processus. ALLWIN21 AW 901e peut être utilisé pour diverses applications d'élimination d'oxyde, de recuit rapide de température, de refroidissement rapide, de cuisson, de cuisson à haute température et de brasage. Sa conception flexible permet de personnaliser le processus, et une taille compacte permet l'installation dans une variété d'endroits. C'est une solution fiable et économique pour de nombreuses applications exigeantes.
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