Occasion ALLWIN21 AW 901e #9201807 à vendre en France

ALLWIN21 AW 901e
ID: 9201807
Taille de la plaquette: 3"-6"
Plasma etcher, 3"-6" Wafer loading: 3-Axis robot Stationary cassette plate Plasma power: RF 13.56 MHz Type: Parallel / Single wafer process Stand alone Gas lines: 1-3 Lines Throughput: 30-60 WPH, Process dependent Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability Gas lines: (4) Gas lines with MFCs Etcher rate: AW-901eR: 0-8000A / minute AW-903eR: 0-4000A / minute Process dependent Uniformity: Up to ±3%, Process dependent Particulate: <0.05 / cm2 Selectivity: 901eR: 2-20:1 AW-903eR: 2-20:1 Process dependent MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours Options: EOP Module with PCB GEM/SECS II Function Lamp tower alarm with buzzer Throttle valve pressure control Vacuum pump Chiller for chuck and chamber Through the wall Main frame, standard Pentium class PC with Keyboard Mouse USB SW Backup Cables Chuck:3"-6" Wafer aligner / Cooling station 3-Axis integrated solid robot: H-Zero (Standard) H1-7 x 10.5 (TTW) Fixed cassette station: Chuck assembly 901eR Non-anodized 903eR Anodized with flat 903eR Anodized with flat 903eR Non-anodized with flat Reactor Assembly: 901eR Non-anodized 903eR Anodized 903eR Non-anodized 903eR High performance Direct cooling Non direct cooling Pins: Quartz Ceramic SST Centering ring: Aluminum Ceramic Main control board: Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves RF Matching network with PCB RF Generator: 13.56 MHz MKS Elite: 300 HD MKS Elite: 600 HD MKS Elite: 1000 HD ENI ACG 3 ENI ACG 10 AC / DC Box ATM Sensor UPC Pressure control 225 SCCM: 901eR 2000 SCCM: 903eR MKS Baratron with peumatic Iiolation valve Main vacuum valves Front EMO interlocks Touch screen GU, 15" AW-901eR AW-903eR Material etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He Other gases CHCLF2 / None None Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000 RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600 Temperature (C) 30 / 30 23 AC Power: AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase RF Generator: 200-240 VAC PC / Monitor: 115 VAC Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé pour une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs électroniques. Il s'agit d'un équipement multi-zones qui combine le chargement/déchargement d'échantillons à grande vitesse, le chauffage/refroidissement indépendant, le contrôle précis de la température et les capacités facultatives de réduction de l'hydrogène. Sa conception permet au système de fonctionner plus rapidement et plus efficacement que les systèmes RTP classiques, économisant du temps et des ressources. L'AW 901e utilise une unité de contrôle d'optimisation dynamique (DOCS) qui permet d'ajuster précisément les taux de chauffage et de refroidissement individuels en fonction des caractéristiques physiques de la charge. Ceci assure l'uniformité et la répétabilité du procédé, quel que soit le matériau traité. Il est également équipé d'une machine d'acquisition de données embarquée et d'une variété de fonctions d'alarme, permettant une surveillance et un enregistrement détaillés de divers aspects du processus. ALLWIN21 AW 901e utilise un processus en trois étapes pour assurer un chauffage et un refroidissement précis et reproductibles. La première étape est la rampe de température, qui atteint rapidement la température cible. La deuxième étape est un cycle d'immersion, qui permet à l'échantillon d'atteindre l'équilibre thermique. Ceci est suivi d'un refroidissement rapide, qui réduit rapidement la température et évite les dommages de l'échantillon. AW 901e est conçu pour être convivial, avec des recettes automatiques et des paramètres de contrôle de séquence qui permettent une configuration rapide et facile de l'ensemble du processus. Il dispose également de diverses fonctions de sécurité telles qu'une surchauffe du ventilateur et une détection de surchauffe. Cela permet un fonctionnement sûr, et assure la précision du processus. ALLWIN21 AW 901e peut être utilisé pour diverses applications d'élimination d'oxyde, de recuit rapide de température, de refroidissement rapide, de cuisson, de cuisson à haute température et de brasage. Sa conception flexible permet de personnaliser le processus, et une taille compacte permet l'installation dans une variété d'endroits. C'est une solution fiable et économique pour de nombreuses applications exigeantes.
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