Occasion ALLWIN21 AW 901e #9201818 à vendre en France
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ID: 9201818
Taille de la plaquette: 3"-6"
TTW Plasma etcher, 3"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: RF 13.56 MHz
Type: Parallel / Single wafer process
Through the wall (TTW)
Gas lines: 1-3 Lines
Throughput: 30-60 WPH, Process dependent
Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability
Gas lines: (4) Gas lines with MFCs
Etcher rate:
AW-901eR: 0-8000A / minute
AW-903eR: 0-4000A / minute
Process dependent
Uniformity: Up to ±3%, Process dependent
Particulate: <0.05 / cm2
Selectivity:
901eR: 2-20:1
AW-903eR: 2-20:1
Process dependent
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours
Options:
EOP Module with PCB
GEM/SECS II Function
Lamp tower alarm with buzzer
Throttle valve pressure control
Vacuum pump
Chiller for chuck and chamber
Through the wall
Main frame, standard
Pentium class PC with
Keyboard
Mouse
USB
SW Backup
Cables
Chuck:3"-6"
Wafer aligner / Cooling station
3-Axis integrated solid robot:
H-Zero (Standard)
H1-7 x 10.5 (TTW)
Fixed cassette station:
Chuck assembly
901eR Non-anodized
903eR Anodized with flat
903eR Anodized with flat
903eR Non-anodized with flat
Reactor Assembly:
901eR Non-anodized
903eR Anodized
903eR Non-anodized
903eR High performance
Direct cooling
Non direct cooling
Pins:
Quartz
Ceramic SST
Centering ring:
Aluminum
Ceramic
Main control board:
Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves
RF Matching network with PCB
RF Generator: 13.56 MHz
MKS Elite: 300 HD
MKS Elite: 600 HD
MKS Elite: 1000 HD
ENI ACG 3
ENI ACG 10
AC / DC Box
ATM Sensor
UPC Pressure control
225 SCCM: 901eR
2000 SCCM: 903eR
MKS Baratron with peumatic Iiolation valve
Main vacuum valves
Front EMO interlocks
Touch screen GU, 15"
AW-901eR AW-903eR
Material Etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride
Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He
Other gases CHCLF2 / None None
Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000
RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600
Temperature (C) 30 / 30 23
AC Power:
AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase
RF Generator: 200-240 VAC
PC / Monitor: 115 VAC
Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e est un processeur thermique rapide (RTP) avec une variété de caractéristiques qui le rendent particulièrement utile dans les applications de soudage à nouveau flux. Lors du refoulement, la pâte de soudure est appliquée sur la planche et les composants. Les composants sont ensuite placés sur la planche et chauffés à haute température afin de faire fondre la soudure et de créer une connexion électrique fiable. AW 901e est conçu pour fournir un traitement thermique rapide (RTP) avec des temps de cycle rapides et des températures élevées, ce qui le rend bien adapté à ce type d'application. ALLWIN21 AW 901e a une température de chauffage maximale de 350 ° C, ce qui est plus élevé que beaucoup d'autres RTP sur le marché. Cette température élevée assure une fusion rapide de la soudure et une fiabilité des connexions électriques. La taille maximale de la chambre est de 24 « x24 », ce qui la rend adaptée à des applications plus grandes. L'élément chauffant est un réchauffeur infrarouge céramique, qui aide à réduire les coûts énergétiques et fournit une précision de température élevée. L'unité est également équipée de 3 programmes de température, permettant une flexibilité dans le processus de fabrication. AW 901e est conçu avec la sécurité et l'efficacité en tête. L'unité comprend un interrupteur de pression qui assure une pression d'air adéquate pendant le traitement, ce qui aide à éviter les incendies de soudure défectueuse. Les systèmes de refroidissement sont conçus pour minimiser les gradients de température dans la chambre, ce qui permet de s'assurer que les composants ne surchauffent pas et ne deviennent pas endommagés. L'unité comprend également un régulateur de température PID, qui permet d'assurer un contrôle précis de la température et de la stabilité. ALLWIN21 AW 901e est très efficace et fournit un chauffage uniforme. Grâce à ses temps de cycle rapides, il peut réduire de façon significative les coûts de main-d'œuvre pendant le processus de retransfert de soudure. Sa facilité d'utilisation le rend idéal pour l'utilisation de la production, et son faible coût en fait une option attrayante pour de nombreuses entreprises. Dans l'ensemble, l'AW 901e offre un RTP haute performance avec des temps de chauffage rapides et un chauffage uniforme. Avec une température maximale de 350 ° C, il est bien adapté pour les applications de retransfert de soudure, et il comprend une variété de caractéristiques conçues pour la sécurité et l'efficacité. Il est également rentable et facile à utiliser, ce qui en fait une excellente option pour les entreprises qui cherchent à rationaliser leur processus de soudure.
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