Occasion ALLWIN21 AW 901e #9201818 à vendre en France

ALLWIN21 AW 901e
ID: 9201818
Taille de la plaquette: 3"-6"
TTW Plasma etcher, 3"-6" Wafer loading: 3-Axis robot Stationary cassette plate Plasma power: RF 13.56 MHz Type: Parallel / Single wafer process Through the wall (TTW) Gas lines: 1-3 Lines Throughput: 30-60 WPH, Process dependent Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability Gas lines: (4) Gas lines with MFCs Etcher rate: AW-901eR: 0-8000A / minute AW-903eR: 0-4000A / minute Process dependent Uniformity: Up to ±3%, Process dependent Particulate: <0.05 / cm2 Selectivity: 901eR: 2-20:1 AW-903eR: 2-20:1 Process dependent MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours Options: EOP Module with PCB GEM/SECS II Function Lamp tower alarm with buzzer Throttle valve pressure control Vacuum pump Chiller for chuck and chamber Through the wall Main frame, standard Pentium class PC with Keyboard Mouse USB SW Backup Cables Chuck:3"-6" Wafer aligner / Cooling station 3-Axis integrated solid robot: H-Zero (Standard) H1-7 x 10.5 (TTW) Fixed cassette station: Chuck assembly 901eR Non-anodized 903eR Anodized with flat 903eR Anodized with flat 903eR Non-anodized with flat Reactor Assembly: 901eR Non-anodized 903eR Anodized 903eR Non-anodized 903eR High performance Direct cooling Non direct cooling Pins: Quartz Ceramic SST Centering ring: Aluminum Ceramic Main control board: Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves RF Matching network with PCB RF Generator: 13.56 MHz MKS Elite: 300 HD MKS Elite: 600 HD MKS Elite: 1000 HD ENI ACG 3 ENI ACG 10 AC / DC Box ATM Sensor UPC Pressure control 225 SCCM: 901eR 2000 SCCM: 903eR MKS Baratron with peumatic Iiolation valve Main vacuum valves Front EMO interlocks Touch screen GU, 15" AW-901eR AW-903eR Material Etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He Other gases CHCLF2 / None None Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000 RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600 Temperature (C) 30 / 30 23 AC Power: AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase RF Generator: 200-240 VAC PC / Monitor: 115 VAC Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e est un processeur thermique rapide (RTP) avec une variété de caractéristiques qui le rendent particulièrement utile dans les applications de soudage à nouveau flux. Lors du refoulement, la pâte de soudure est appliquée sur la planche et les composants. Les composants sont ensuite placés sur la planche et chauffés à haute température afin de faire fondre la soudure et de créer une connexion électrique fiable. AW 901e est conçu pour fournir un traitement thermique rapide (RTP) avec des temps de cycle rapides et des températures élevées, ce qui le rend bien adapté à ce type d'application. ALLWIN21 AW 901e a une température de chauffage maximale de 350 ° C, ce qui est plus élevé que beaucoup d'autres RTP sur le marché. Cette température élevée assure une fusion rapide de la soudure et une fiabilité des connexions électriques. La taille maximale de la chambre est de 24 « x24 », ce qui la rend adaptée à des applications plus grandes. L'élément chauffant est un réchauffeur infrarouge céramique, qui aide à réduire les coûts énergétiques et fournit une précision de température élevée. L'unité est également équipée de 3 programmes de température, permettant une flexibilité dans le processus de fabrication. AW 901e est conçu avec la sécurité et l'efficacité en tête. L'unité comprend un interrupteur de pression qui assure une pression d'air adéquate pendant le traitement, ce qui aide à éviter les incendies de soudure défectueuse. Les systèmes de refroidissement sont conçus pour minimiser les gradients de température dans la chambre, ce qui permet de s'assurer que les composants ne surchauffent pas et ne deviennent pas endommagés. L'unité comprend également un régulateur de température PID, qui permet d'assurer un contrôle précis de la température et de la stabilité. ALLWIN21 AW 901e est très efficace et fournit un chauffage uniforme. Grâce à ses temps de cycle rapides, il peut réduire de façon significative les coûts de main-d'œuvre pendant le processus de retransfert de soudure. Sa facilité d'utilisation le rend idéal pour l'utilisation de la production, et son faible coût en fait une option attrayante pour de nombreuses entreprises. Dans l'ensemble, l'AW 901e offre un RTP haute performance avec des temps de chauffage rapides et un chauffage uniforme. Avec une température maximale de 350 ° C, il est bien adapté pour les applications de retransfert de soudure, et il comprend une variété de caractéristiques conçues pour la sécurité et l'efficacité. Il est également rentable et facile à utiliser, ce qui en fait une excellente option pour les entreprises qui cherchent à rationaliser leur processus de soudure.
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