Occasion ALLWIN21 AWgage 200 #9201797 à vendre en France
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ID: 9201797
Taille de la plaquette: 4"- 8"
Metal film metrology system, 4"- 8"
Main frame
Measurement head
Non-contact sheet resistance measurement
Measurement range: 1m W/sq to 19,990 W/sq
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Wafer carriage travel programmed:
With internal encoder step motor
Without encoder disk
Test sights:
Single center-point
(5) Points
(9) Points
Highly conductive or metal sheet resistance:
1 to 1,999 mW/sq
1 to 1,999 W/sq
10 to 19,990 W/sq
Highly conductive or metal film thickness minimum:
100Å (Ångström) Maximum:
Proportional to resistivity
Maximum for a resistivity of 2.7 mW: 270 kÅ (27 mm)
Sheet resistance repeatability:
Range s/X (±%)
1 to 100 mW/sq 1
100 to 500 mW/sq 2
500 to 1000 mW/sq 4
1000 to 1,999 mW/sq 6
1,999 to 5,000 W/sq Consult factory
5000 to 10,000 W/sq Consult factory
10,000 to 15,000 W/sq Consult factory
Boards:
RF Tank circuit
Pentium® class computer
Main control
Motor control
Ports:
(2) USB
(2) Extra DB9
Touch screen GUI, 15"
Mouse & keyboard
Room temperature: 23° C
Power:
50/60Hz
Single phase
110/220VAC
2 Amps
CE Marked
Wafer loading: Manual.
ALLWIN21 AWgage 200 est un processeur thermique rapide conçu pour chauffer, refroidir et transférer rapidement des matériaux dans une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs, photoniques et LED. AWgage 200 peut atteindre des températures extrêmes avec des vitesses allant jusqu'à 1 800 ° C/min, ce qui le rend adapté à de nombreuses applications dépendantes de la température. La technologie thermique unique basée sur la filière et la plaquette permet de réduire le temps de programmation, de traitement et de cycle tout en préservant l'intégrité des pièces. Sa flexibilité permet une grande variété d'opérations de chauffage et de refroidissement directionnels, ainsi qu'une large gamme de températures programmables. ALLWIN21 AWgage 200 est capable de manipuler divers matériaux, dont divers substrats semi-conducteurs et photoniques, des plaquettes de silicium, de l'oxyde d'aluminium, du saphir, du quartz et du diamant. Sa technologie de contrôle thermique de pointe permet également une gestion précise des zones de température et des taux d'élévation de température précis pour créer des profils de température bien définis. Le système dispose également d'une chambre de pression ambiante contrôlée sous vide, de capacités de refroidissement cryogénique et d'une unité de manutention interchangeable avec pompe et modules de traitement séparés. L'AWgage 200 est conçu avec une machine de commande conviviale qui facilite le contrôle et la surveillance de l'ensemble du processus thermique. Les capacités de surveillance continue et de rapport de l'outil, fournissent des mises à jour détaillées en temps réel sur le fonctionnement des actifs, le contrôle de la température et les temps de cycle. En outre, ses capacités de flux d'air turbo-chargé maintiennent la cohérence du processus en refroidissant rapidement les pièces chauffées par le processeur thermique pour permettre des pièces post-processus sans erreur. ALLWIN21 AWgage 200 est un processeur thermique puissant, fiable et flexible offrant un contrôle précis de la température, des capacités de chauffage et de refroidissement ultra-rapides, et une couverture de chauffage/refroidissement uniforme pour traiter rapidement une variété de matériaux. Avec ses capacités d'ingénierie thermique supérieures, l'AWgage 200 est une solution idéale pour une variété de procédés thermiques de haute performance.
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