Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-22033 #38964 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-22033 Rapid Thermal Processor (RTP) est un dispositif de traitement thermique semi-conducteur avancé utilisé pour le chauffage et le refroidissement rapides des plaquettes. Il permet un chauffage et un refroidissement rapides, précis, reproductibles et uniformes des plaquettes en très peu de temps (3-5 secondes). Le RTP est la seule technologie de ce type capable de maintenir des températures supérieures à 1000 ° C sans lampes de grande puissance. La conception de la machine se compose de deux chambres inférieures pour le chauffage et le refroidissement rapide de la plaquette et d'une chambre supérieure chauffée pour le recuit à haute température. Les plaquettes sont placées sur une bobine d'induction RF, qui est utilisée pour générer le profil thermique désiré. Pendant le cycle de chauffage/refroidissement, la plaquette est exposée à un flux volatil de gaz inerte (N2, Ar, et O2) et de gaz diazométhane qui contribue à créer un environnement pour un recuit uniforme de la plaquette. La température de la chambre est régulée par la chambre de contrôle et est typiquement comprise entre 500 et 1200 ° C, avec une précision maximale ± 0,1 ° C De plus, le RTP permet des procédés tels que la diffusion, l'oxydation et la métallisation multi-empilements. Cette machine offre un système automatisé haute performance capable de traiter jusqu'à 8 plaquettes simultanément tout en réalisant un temps de cycle aussi court que 20-25 secondes. L'utilisation de l'AMAT 0010-22033 RTP offre un grand avantage grâce à sa capacité à produire des résultats fiables à haut débit, tout en offrant une plateforme améliorée pour la recherche de procédés thermiques et le développement de produits. Ses avantages comprennent une homogénéité spatiale supérieure, un traitement répétable et contrôlable, et des temps de cycle de processus réduits. En outre, ses capacités d'automatisation avancées, y compris la livraison de matériaux et de gaz, ainsi que la manutention automatique des plaquettes, réduisent les risques de manutention et de contamination. Ces caractéristiques de APPLIED MATERIALS 0010-22033 RTP en font un excellent choix pour un large éventail d'applications de traitement thermique, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, de dispositifs optoélectroniques intégrés et de divers procédés de nanostructure et de microfabrication. Le processeur thermique est également en mesure de fournir des taux de productivité supérieurs avec plusieurs lots de plaquettes, des recettes standard et avancées, ainsi que le suivi des lots de processus.