Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS ACP Radiance #9399900 à vendre en France
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ID: 9399900
Style Vintage: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance est un processeur thermique rapide conçu pour faciliter le traitement thermique rapide de précision des plaquettes dans les applications semi-conductrices et MEMS (Microelectro Mechanical Systems). Cet équipement compact et automatisé assure un contrôle précis du traitement thermique d'une large gamme de matériaux avec des temps de réponse rapides, un débit élevé et des températures uniformes à travers le substrat. AMAT ACP Radiance utilise deux types différents de méthodes d'irradiation et de régulation de la température pour contrôler avec précision la température du substrat. Il s'agit notamment du chauffage direct et indirect par infrarouge (IR), ainsi que des capacités de contrôle des gaz et d'obturation des radiations à double/multi-zones. Le chauffage IR direct utilise un faisceau de lumière collimaté d'entrée à sortie d'un réseau de diodes focalisé sur la surface de l'échantillon, assurant un chauffage rapide et uniforme. L'IR indirect utilise un système réflecteur et une source de corps noir pour maintenir un profil thermique uniforme sur l'échantillon. La fonction de contrôle du gaz sur les matériaux appliqués ACP Radiance offre un niveau supplémentaire de contrôle de la température et de répétabilité du processus au traitement thermique rapide. L'unité est capable de transporter plusieurs gaz, d'une seule chambre de procédé, vers le substrat pour créer des concentrations et des débits de gaz différents. Cette fonction permet un contrôle de température plus précis pour les processus de courte et de longue durée. Ce processeur thermique innovant comprend des composants avancés de machines de refroidissement, tels que des thermocouples, pour une surveillance et un contrôle précis de la température. Un outil de régulation de la température en boucle fermée assure une température constante basée sur la rétroaction des composants de surveillance de l'actif. Cette fonctionnalité permet de maintenir un traitement uniforme et répétable avec un gradient de température minimal sur la plaquette. Le modèle ACP Radiance est conçu pour réduire le temps de cycle pour un traitement thermique rapide sans compromettre la qualité du procédé ou la fiabilité du matériau. Avec un contrôleur de processus intuitif et une interface logicielle graphique facile à utiliser, AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance est facile à utiliser et à programmer avec un minimum d'intervention ou d'accord manuel. Ce processeur thermique très polyvalent est adapté à une gamme d'applications semi-conductrices et MEMS, y compris l'imagerie avancée de métrologie à fort grossissement (AFM/STM/TEM), le bossage de plaquettes, le collage de flip-chip, le collage de matrices, la fabrication de MEMS, et plus encore. AMAT ACP Radiance fournit un contrôle précis de la température lors d'un traitement thermique rapide, permettant aux utilisateurs d'obtenir des matériaux traités de manière plus cohérente avec des niveaux de dégradation plus faibles.
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