Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Radiance RPO #293591363 à vendre en France
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ID: 293591363
Taille de la plaquette: 12"
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: RPO (Remote Plasma Oxidation)
(4) Chambers.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Radiance RPO est un processeur thermique rapide conçu pour permettre le traitement à haut débit et à haute température de dispositifs semi-conducteurs avancés. Le Radiance RPO offre une combinaison unique de fonctionnalités pour soutenir le développement de périphériques de pointe. Non limité aux applications traditionnelles dans l'isolation des tranchées peu profondes, l'oxyde de champ et l'oxydation du silicium polycristallin, le Radiance peut être utilisé pour un large éventail d'applications telles que le Contact Etch Back, le Metal Etch Back et le PEALD (dépôt de couche atomique amélioré par plasma). Le Radiance est livré avec les caractéristiques standard d'un processeur thermique rapide de pointe, y compris un module AGVP (Advanced Gas Valve Package), quatre zones réactionnelles indépendantes et un contrôle à double zone pour les ressorts supérieurs et inférieurs. Le système intégré de gestion et de surveillance des processus permet aux utilisateurs de contrôler la température et la plage de temps de la gaine, ainsi que le débit de gaz et la pression du canal. Les capacités automatisées de collecte de données et d'optimisation des processus du système favorisent des processus reproductibles, fiables et cohérents avec une répétabilité sans précédent, même sur les films en couches, ce qui augmente considérablement l'évolutivité des processus. Pour une meilleure performance, la Radiance est également dotée d'une gamme complète de fonctions de contrôle automatisé de la température, du temps et du cycle. Les capacités de pulsation intégrées contrôlent le temps et la température par de multiples étapes discrètes, permettant aux utilisateurs de tracer un profil encore plus précis de leur processus. En outre, les systèmes internes de gestion du gaz permettent aux utilisateurs de contrôler et de surveiller l'introduction du gaz tout au long du processus, ce qui permet une plus grande flexibilité du processus. La technologie de procédé avancée de la Radiance offre une précision inégalée pour les procédés avancés de fabrication de plaquettes. Le processeur permet aux utilisateurs de définir et de contrôler avec précision les paramètres du processus, ce qui permet des processus thermiques précis, un contrôle de la température et de la durée exigeant et des recettes de processus finement ajustées. En outre, le Radiance est livré avec un certain nombre de fonctionnalités exclusives conçues pour améliorer les performances et améliorer la sécurité des recettes de processus, telles que la recette de processus réveil/arrêt complet, les limites d'uniformité configurables par l'utilisateur et le stockage de données hautement sécurisé et l'authentification des mots de passe. En résumé, AMAT Centura Radiance RPO est un processeur thermique rapide conçu pour supporter un large éventail de processus et d'applications de fabrication de plaquettes. Le Radiance offre une précision, une évolutivité et une flexibilité inégalées, ainsi qu'un ensemble de caractéristiques exclusives pour maximiser les performances, la sécurité des processus et l'expérience utilisateur.
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