Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance RTP #9026095 à vendre en France
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Vendu
ID: 9026095
Chamber only, 12"
Included with Chamber:
Edge Ring
Rotor; Post
Rotation; Maglev
Radiance Reflector plate (no He Purge)
Pyrometer gauges
Radiance Lamp (full set included)
Rev 1 Lamp head assembly
Remote Radiance Power Box
Original RTC computer (converted to Ethernet)
Gas Panel: ISSG Ready
Gas Lines: N2, O2, H2, N2O, NO, NH3
Unit 8156 MFCs
Not Included with Chamber:
System Main-frame
Main-Frame Power box
Vacuum Pump
Power Interconnects
Note: Chamber has not been decontaminated
Idle date: 2009
2002 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Radiance RTP est un outil révolutionnaire pour le traitement thermique rapide qui offre des performances et un rendement supérieurs pour la fabrication de semi-conducteurs avancés. La technologie unique de plasma induite par micro-ondes du RTP maximise l'efficacité énergétique en utilisant les fréquences de radiofréquence (RF) pour chauffer et refroidir rapidement les plaquettes dans de l'air de qualité chambre blanche sans contact direct avec le substrat. Cette méthode élimine tout risque de contamination par contact direct, faisant d'AMAT Radiance RTP l'outil idéal pour fabriquer de multiples couches d'appareils avec une grande précision et cohérence. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Radiance RTP offre quatre options de traitement thermique pour l'accord des profils thermiques des interconnexions à faible kommunication. Il s'agit notamment du recuit thermique rapide à basse température (LT-RTA), de la nitridation thermique rapide (RTN), de l'oxydation thermique rapide (RTO) et du traitement thermique rapide (RTP). Chacune de ces options peut être configurée et contrôlée individuellement pour fournir un contrôle thermique précis. RTP fournit également une capacité pour la fixation rapide sur les plaquettes et la formation de dispositifs mémoire non volatils. Radiance RTP dispose d'un contrôleur industriel numérique de pointe qui fournit précision, répétabilité et facilité de fonctionnement. Cela comprend un moniteur en temps réel et la tendance des paramètres clés tels que la température, le temps et la pression du substrat. L'accès aux données historiques, les actions diagnostiques et le calendrier des tâches de maintenance sont tous rendus possibles grâce au logiciel AMAT Rescol. En termes de performance environnementale, AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance RTP offre des niveaux de particules réduits, une production de déchets minimisée et un traitement zéro émission. Le générateur de source de plasma sur plaquette offre également une stabilité et une uniformité de processus accrues en fournissant un taux d'horloge excédentaire qui aide à éviter les dommages cristallins et peut prolonger la durée de vie du dispositif. AMAT Radiance RTP est un outil polyvalent pour la fabrication de semi-conducteurs avancés et la production de dispositifs. Ses capacités de traitement thermique rapide offrent une grande précision et cohérence, un faible risque de contamination et des performances environnementales qui répondent aux normes industrielles les plus strictes. Grâce à sa technologie de plasma micro-ondes révolutionnaire et à son contrôleur industriel numérique de pointe, les matériaux appliqués Radiance RTP sont le choix optimal pour une fabrication à haute performance et à haut rendement.
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