Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #293587166 à vendre en France
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ID: 293587166
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: RadOx
(2) Chambers
Wafer type: SNNF
Platform type: Vantage 3.X
Position A and B: (V352) RadOx2
Chamber A and B process: Toxic RP
OHT WIP Delivery
Dual 2-slot active cool down station
E99 Docked reading capability
Load port: SELOP 7
Load port operator interface: Standard (8) lights
Configurable colored lights
Top air intake system
Upper E84 interface enabled OHT
Upper E84 PIO sensors and cables
E99 Carrier ID: TIRIS With RF
Operator access switch
4-Color configurable light towers
Interface A option
eDiagnostic
Out the back connection type: RP
Out the back connection H2
(2) Water cooling chambers
RP Integration hardware: Chamber A and B
Standard RAGB rear light tower
Vantage skin: (2) Toxic chambers
IPUP Transfer pump
Open loop tuner
MFC Type: STEC
Core anneal and RTO
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, 17"
Monitor 2: Flat panel on stand, 17"
Monitor 1 and 2 cables: 25 ft with 16 feet effective
SEMI F47
Semi S2 compliance
RTP Chamber type: Radiance RadOx2, 12"
Technology option: Open loop tuner
MFC Type: STEC
Core anneal and RTO
Rotation type: WRLD Toxic
Low flow O2: 5 SLM
High flow O2: 50 SLM
Oxygen analyzer
H2:
High flow
Low flow
Side inject
No process N2 for flammable MNFLD
Gas pallet type: TOXIC RP Common gas pallet
No MWBC improvement kit
Chamber integration lines: RadOx2
RP Pump cable: 81 Feet
Base ring: RadOx2 base ring
Line 1 / N2 (N/O), 50 SLM
Line 2 / O2, 50 SLM
Line 3 / O2, 5 SLM
Line 6 / H2, 15 SLM, Side inject high flow
Line 7 / H2, 22 SLM, High flow
Line 8 / H2, 2 SLM, Low flow
Line 10 / N2 (P/P), 30 SLM Restrictor
Line 11 / He, 30 SLM
Line 12 / N2 (BP), 50 SLM
Line 13 / N2 (Maglev), 100 SLM
Docking station FST install kit
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance est un processeur thermique rapide de haute performance qui applique des technologies innovantes pour améliorer la stabilité des processus, permettre des transitions à haute température et maximiser la qualité de la fabrication des puces tout en réduisant considérablement les temps de processus. AMAT Vantage Radiance a la capacité de réaliser des transitions à haute température jusqu'à 2000 ° C, en quelques secondes. Ce RTP extrêmement haut de gamme permet également un contrôle précis de la température. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage Radiance a une uniformité de température améliorée dans la zone chauffée et un temps de réponse thermique transitoire plus rapide. Il offre également une large fenêtre de fonctionnement, permettant une plus grande plage de température de processus, offrant ainsi une flexibilité de processus. Vantage Radiance dispose d'un contrôle de processus efficace qui permet à l'équipement de surveiller la répartition de la température, avec des marges de sécurité de temps et de température réglables pour améliorer le contrôle du système. Ses capacités d'automatisation aident à réduire le temps de cycle, à améliorer la répétabilité et à simplifier la configuration et le contrôle de l'unité. Ses capacités innovantes de chauffage radiatif et de refroidissement convectif permettent de maintenir une répartition uniforme de la température avec un haut degré de stabilité temporelle. Cela contribue à améliorer la stabilité thermique et à réduire la probabilité de fluctuations de température dues aux chocs thermiques. Le contrôle de température multi-zones et les capacités d'automatisation complètes d'AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance contribuent à maintenir le plus haut niveau de qualité et de cohérence dans le processus. Cette machine intègre également une variété de caractéristiques de sécurité avancées, assurant la sécurité du personnel et des dispositifs. Grâce à ses technologies innovantes, AMAT Vantage Radiance traite avec précision et rapidité aux températures requises dans la fabrication moderne d'IC, contribuant à réduire les temps de cycle tout en maintenant la qualité du procédé. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage Radiance est un processeur thermique rapide et performant, doté de technologies de chauffage innovantes, de capacités d'automatisation complètes et de caractéristiques de sécurité avancées. Il est conçu pour fournir un haut degré d'uniformité de température et de stabilité tout en contribuant à maximiser la qualité et l'efficacité de la fabrication des puces.
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