Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #293587172 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293587172
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: RadOx
(2) Chambers
Wafer type: SNNF
Platform type: Vantage 3.X
Position A and B: (V352) RadOx2
Chamber A and B process: Toxic RP
OHT WIP Delivery
Dual 2-slot active cool down station
No remote control system
E99 Docked reading capability
Load port: SELOP 7
Load port operator interface: Standard (8) lights
Configurable colored lights
Top air intake system
Upper E84 interface enabled OHT
Upper E84 PIO sensors and cables
E99 Carrier ID: TIRIS With RF
Operator access switch
4-Color configurable light towers
Interface A option
eDiagnostic
Out the back connection type: RP
Out the back connection H2
(2) Water cooling chambers
RP Integration hardware: Chamber A and B
Standard RAGB rear light tower
Vantage skin: (2) Toxic chambers
IPUP Transfer pump
Open loop tuner
MFC Type: STEC
Core anneal and RTO
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, 17"
Monitor 2: Flat panel on stand, 17"
Monitor 1 and 2 cables: 25 ft with 16 feet effective
SEMI F47
Semi S2 compliance
RTP Chamber type: Radiance RadOx2, 12"
Technology option: Open loop tuner
MFC Type: STEC
Core anneal and RTO
Rotation type: WRLD Toxic
Low flow O2: 5 SLM
High flow O2: 50 SLM
Oxygen analyzer
H2:
High flow
Low flow
Side inject
No process N2 for flammable MNFLD
Gas pallet type: TOXIC RP Common gas pallet
No MWBC improvement kit
Chamber integration lines: RadOx2
RP Pump cable: 81 Feet
Base ring: RadOx2 base ring
Line 1 / N2 (N/O), 50 SLM
Line 2 / O2, 50 SLM
Line 3 / O2, 5 SLM
Line 6 / H2, 15 SLM, Side inject high flow
Line 7 / H2, 22 SLM, High flow
Line 8 / H2, 2 SLM, Low flow
Line 10 / N2 (P/P), 30 SLM Restrictor
Line 11 / He, 30 SLM
Line 12 / N2 (BP), 50 SLM
Line 13 / N2 (Maglev), 100 SLM
Docking station FST install kit
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance est un processeur thermique rapide conçu pour chauffer rapidement et efficacement les plaquettes lors des processus de fabrication des semi-conducteurs. C'est l'un des systèmes de traitement thermique les plus avancés sur le marché, offrant un certain nombre de caractéristiques et d'avantages pour les fabricants de puces. AMAT Vantage Radiance dispose d'un four de traitement thermique rapide de haute puissance qui a été conçu pour transmettre de la chaleur uniforme, avec une plage de température maximale allant jusqu'à 1300 ° C Ceci s'accompagne d'un temps de rampe rapide de moins de 0,1 seconde par étape, ce qui lui permet d'atteindre des valeurs de température rapidement et avec précision. Cela permet de réduire le temps de cycle de la plaquette, permettant aux fabricants de puces de fabriquer des dispositifs semi-conducteurs plus avancés. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage Radiance est également équipé d'un équipement de contrôle avancé, permettant aux opérateurs de gérer et de contrôler les différents processus et conditions nécessaires au traitement thermique. Cela comprend une variété d'outils pour surveiller les conditions telles que la température, la pression, le débit de gaz et les conditions de surface des plaquettes. Ce système permet également d'étalonner les paramètres de cuisson du four pour garantir une performance optimale de chaque lot de plaquettes. De plus, Vantage Radiance utilise une unité de contrôle des processus multiples (MPCS) brevetée, qui peut exécuter des processus simultanés pour plusieurs plaquettes. Cela permet un chauffage rapide et simultané de plusieurs plaquettes, sans compromettre la précision et le contrôle des processus thermiques. Le MPCS dispose également de recettes thermiques pour différentes étapes de processus, pour produire rapidement des résultats cohérents. Globalement, AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance est un processeur thermique rapide avancé conçu pour augmenter l'efficacité et les performances de la fabrication de semi-conducteurs. Avec son four de haute puissance, sa machine de contrôle avancée et son outil de contrôle de processus multiple, AMAT Vantage Radiance est capable de répondre rapidement et avec précision à une variété de besoins de traitement thermique.
Il n'y a pas encore de critiques