Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #293587174 à vendre en France

ID: 293587174
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" Process: RadOx (2) Chambers Wafer type: SNNF Platform type: Vantage 3.X Position A and B: (V352) RadOx2 Chamber A and B process: Toxic RP OHT WIP Delivery Dual 2-slot active cool down station No remote control system E99 Docked reading capability Load port: SELOP 7 Load port operator interface: Standard (8) lights Configurable colored lights Top air intake system Upper E84 interface enabled OHT Upper E84 PIO sensors and cables E99 Carrier ID: TIRIS With RF Operator access switch 4-Color configurable light towers Interface A option eDiagnostic Out the back connection type: RP Out the back connection H2 (2) Water cooling chambers RP Integration hardware: Chamber A and B Standard RAGB rear light tower Vantage skin: (2) Toxic chambers IPUP Transfer pump Open loop tuner MFC Type: STEC Core anneal and RTO Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, 17" Monitor 2: Flat panel on stand, 17" Monitor 1 and 2 cables: 25 ft with 16 feet effective SEMI F47 Semi S2 compliance RTP Chamber type: Radiance RadOx2, 12" Technology option: Open loop tuner MFC Type: STEC Core anneal and RTO Rotation type: WRLD Toxic Low flow O2: 5 SLM High flow O2: 50 SLM Oxygen analyzer H2: High flow Low flow Side inject No process N2 for flammable MNFLD Gas pallet type: TOXIC RP Common gas pallet No MWBC improvement kit Chamber integration lines: RadOx2 RP Pump cable: 81 Feet Base ring: RadOx2 base ring Line 1 / N2 (N/O), 50 SLM Line 2 / O2, 50 SLM Line 3 / O2, 5 SLM Line 6 / H2, 15 SLM, Side inject high flow Line 7 / H2, 22 SLM, High flow Line 8 / H2, 2 SLM, Low flow Line 10 / N2 (P/P), 30 SLM Restrictor Line 11 / He, 30 SLM Line 12 / N2 (BP), 50 SLM Line 13 / N2 (Maglev), 100 SLM Docking station FST install kit Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance est un processeur thermique rapide conçu pour créer des profils de température de plaquettes fiables et reproductibles afin de faciliter les processus de fabrication de semi-conducteurs de haute précision. Il s'agit d'une unité de traitement thermique de précision compacte avec une chambre de traitement à deux zones pouvant atteindre jusqu'à 120˚C. Le Radiance offre une plage de température dynamique allant jusqu'à 600˚C, avec une précision de +/- 5˚C. Cela permet des procédés de recuit thermique très précis et reproductibles. Le Radiance est équipé d'une chambre de procédé ultra propre et d'une table à mandrin électrostatique, pour aider à maintenir un environnement propre et sans statique. Le Radiance dispose également d'outils intégrés de mesure de la conductivité thermique et de l'uniformité. Cela garantit des résultats précis et reproductibles, ce qui améliore les rendements et la qualité des plaquettes. Le Radiance comprend également un contrôleur de puissance haute vitesse (HSPC) de pointe. Le HSPC est composé d'un système de modulation de largeur d'impulsions (PWM) multi-étages et d'un contrôleur intelligent, permettant une gestion complexe de la puissance. Le HSPC est capable de gérer jusqu'à 30 STPV (Step Time Process Variable) pour obtenir des conditions de recuit thermique optimales. Le Radiance a été conçu pour permettre un processus thermique flexible et à grande vitesse. Il dispose de vitesses de chauffage et de refroidissement rapides, de profils thermiques précis et reproductibles et de temps de cycle courts, permettant la fabrication de lithographies en ligne fine et de profils de gravure complexes. En outre, il peut être équipé d'un pyromètre haute résolution pour surveiller les conditions de processus en temps réel et garantir des performances optimales. Le Radiance est vendu comme un système prêt à l'emploi, entièrement testé et configurable. Le système est conçu pour automatiser le processus, tout en maintenant un haut degré de précision et de répétabilité. Le Radiance est disponible en tant qu'unité autonome configurable ou en tant que partie d'une suite complète d'outils. Avec sa combinaison d'automatisation, de précision, de répétabilité et de flexibilité, le Radiance est un choix puissant pour la fabrication de semi-conducteurs.
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