Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #293587174 à vendre en France
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ID: 293587174
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: RadOx
(2) Chambers
Wafer type: SNNF
Platform type: Vantage 3.X
Position A and B: (V352) RadOx2
Chamber A and B process: Toxic RP
OHT WIP Delivery
Dual 2-slot active cool down station
No remote control system
E99 Docked reading capability
Load port: SELOP 7
Load port operator interface: Standard (8) lights
Configurable colored lights
Top air intake system
Upper E84 interface enabled OHT
Upper E84 PIO sensors and cables
E99 Carrier ID: TIRIS With RF
Operator access switch
4-Color configurable light towers
Interface A option
eDiagnostic
Out the back connection type: RP
Out the back connection H2
(2) Water cooling chambers
RP Integration hardware: Chamber A and B
Standard RAGB rear light tower
Vantage skin: (2) Toxic chambers
IPUP Transfer pump
Open loop tuner
MFC Type: STEC
Core anneal and RTO
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, 17"
Monitor 2: Flat panel on stand, 17"
Monitor 1 and 2 cables: 25 ft with 16 feet effective
SEMI F47
Semi S2 compliance
RTP Chamber type: Radiance RadOx2, 12"
Technology option: Open loop tuner
MFC Type: STEC
Core anneal and RTO
Rotation type: WRLD Toxic
Low flow O2: 5 SLM
High flow O2: 50 SLM
Oxygen analyzer
H2:
High flow
Low flow
Side inject
No process N2 for flammable MNFLD
Gas pallet type: TOXIC RP Common gas pallet
No MWBC improvement kit
Chamber integration lines: RadOx2
RP Pump cable: 81 Feet
Base ring: RadOx2 base ring
Line 1 / N2 (N/O), 50 SLM
Line 2 / O2, 50 SLM
Line 3 / O2, 5 SLM
Line 6 / H2, 15 SLM, Side inject high flow
Line 7 / H2, 22 SLM, High flow
Line 8 / H2, 2 SLM, Low flow
Line 10 / N2 (P/P), 30 SLM Restrictor
Line 11 / He, 30 SLM
Line 12 / N2 (BP), 50 SLM
Line 13 / N2 (Maglev), 100 SLM
Docking station FST install kit
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance est un processeur thermique rapide conçu pour créer des profils de température de plaquettes fiables et reproductibles afin de faciliter les processus de fabrication de semi-conducteurs de haute précision. Il s'agit d'une unité de traitement thermique de précision compacte avec une chambre de traitement à deux zones pouvant atteindre jusqu'à 120˚C. Le Radiance offre une plage de température dynamique allant jusqu'à 600˚C, avec une précision de +/- 5˚C. Cela permet des procédés de recuit thermique très précis et reproductibles. Le Radiance est équipé d'une chambre de procédé ultra propre et d'une table à mandrin électrostatique, pour aider à maintenir un environnement propre et sans statique. Le Radiance dispose également d'outils intégrés de mesure de la conductivité thermique et de l'uniformité. Cela garantit des résultats précis et reproductibles, ce qui améliore les rendements et la qualité des plaquettes. Le Radiance comprend également un contrôleur de puissance haute vitesse (HSPC) de pointe. Le HSPC est composé d'un système de modulation de largeur d'impulsions (PWM) multi-étages et d'un contrôleur intelligent, permettant une gestion complexe de la puissance. Le HSPC est capable de gérer jusqu'à 30 STPV (Step Time Process Variable) pour obtenir des conditions de recuit thermique optimales. Le Radiance a été conçu pour permettre un processus thermique flexible et à grande vitesse. Il dispose de vitesses de chauffage et de refroidissement rapides, de profils thermiques précis et reproductibles et de temps de cycle courts, permettant la fabrication de lithographies en ligne fine et de profils de gravure complexes. En outre, il peut être équipé d'un pyromètre haute résolution pour surveiller les conditions de processus en temps réel et garantir des performances optimales. Le Radiance est vendu comme un système prêt à l'emploi, entièrement testé et configurable. Le système est conçu pour automatiser le processus, tout en maintenant un haut degré de précision et de répétabilité. Le Radiance est disponible en tant qu'unité autonome configurable ou en tant que partie d'une suite complète d'outils. Avec sa combinaison d'automatisation, de précision, de répétabilité et de flexibilité, le Radiance est un choix puissant pour la fabrication de semi-conducteurs.
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