Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VANTAGE RADOX #9211114 à vendre en France

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ID: 9211114
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Rapid thermal processing system, 12" Dual arm track robot edge grip Control system features: 32-bit Micrprocessor control Process parameter / Wafer history storage Self diagnostics Automated service routines / Host computer interface Factory interface with (2) load ports, wafer mapping capability System EMO with turn-to-release button System water leak and smoke detectors OHT WIP Delivery Docked E99 reading capability Enhanced 25 wafer FOUP Docking flange shield Upper E84 interface enabled OHT Upper E84 sensors and cables Hermos with RF E99 carrier ID Operator access switch Light curtain 4 Color configurable light tower (Front and rear) LOTO Capability to lock out: CDA to all slit valves ISO Valves Pneumatic doors All gas / Liquid final valves Heater power (2) Operator interface CRT monitors: Bay side (Through the wall flat panel with keyboard) Plenum side (Flat panel with keyboard on stand & 25ft cable) Diagnostic Lamp head pump (RadOx chamber only) Chamber pump (RadOx chamber only) Lateral grain edge ring Position A RTP radiance plus ATM vantage (V350): Chamber A gas panel: Gas MFC Size N/O N2 50SLM Hi O2 50SLM Lo O2 5SLM He 30SLM N2 50SLM N2 1sccm N2 100SLM H2 20SLM H2 1SLM Chamber B gas panel Gas MFC Size N/O N2 50SLM Hi O2 50SLM Lo O2 5SLM He 30SLM N2 50SLM N2 1sccm N2 100SLM H2 20SLM H2 1SLM 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VANTAGE RADOX est un processeur thermique rapide avancé (RTP) conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement offre un traitement thermique à haute vitesse des plaquettes à basse température, contrôlant précisément la température des plaquettes selon les besoins. L "équipement AMAT VANTAGE RADOX est une unité compacte et autonome dotée d'un boîtier unique qui permet un fonctionnement et un entretien faciles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VANTAGE RADOX dispose d'une grande chambre de four horizontale, permettant un jeu maximal du substrat. Cela offre une large marge de manœuvre pour traiter plusieurs plaquettes en parallèle, avec un haut degré de précision. Les régulateurs de température de précision du système sont très fiables et reproductibles, avec une plage de température de -150 ° C à 400 ° C Il a une vitesse de vent de four puissante allant jusqu'à 40 m/s, et un flux de chaleur élevé allant jusqu'à 1000 W/cm ^ 2 pour fournir une rampe thermique rapide et la stabilisation. L'unité est conçue avec un niveau de vide moyen-bas pour réduire l'oxydation des plaquettes et permettre des résultats de traitement thermique de haute qualité. En outre, la machine VANTAGE RADOX fournit un outil intégré de distribution de gaz avec une gamme d'options d'approvisionnement en gaz qui peuvent être adaptées aux besoins spécifiques de l'application. Cette caractéristique unique permet de contrôler l'environnement gazeux et sa livraison pendant le processus thermique. Il y a également un actif avancé de sécurité du gaz intégré pour une protection maximale des utilisateurs. Le modèle peut supporter une gamme de tailles de plaquettes, des plaquettes les plus courantes de 200 mm et de 150 mm jusqu'à 450 mm. Cette polyvalence facilite le traitement thermique de tout procédé et est une solution idéale pour des applications telles que le recuit à haute chaleur, le dépôt diélectrique d'oxyde et d'autres traitements avancés des matériaux. AMAT/APPLIED MATERIALS VANTAGE RADOX est un équipement de pointe conçu pour répondre aux besoins de l'industrie moderne des semi-conducteurs. Il offre des capacités de traitement thermique précises, rapides et sûres avec ses options améliorées de contrôle de la température, du gaz et du four. Sa livraison de gaz finement ajustée, sa manutention adaptable des plaquettes et ses équipements de sécurité avancés favorisent une qualité de traitement maximale, tout en assurant la sécurité des opérateurs.
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