Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VANTAGE RADOX #9211114 à vendre en France
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Vendu
ID: 9211114
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Rapid thermal processing system, 12"
Dual arm track robot edge grip
Control system features:
32-bit Micrprocessor control
Process parameter / Wafer history storage
Self diagnostics
Automated service routines / Host computer interface
Factory interface with (2) load ports, wafer mapping capability
System EMO with turn-to-release button
System water leak and smoke detectors
OHT WIP Delivery
Docked E99 reading capability
Enhanced 25 wafer FOUP
Docking flange shield
Upper E84 interface enabled OHT
Upper E84 sensors and cables
Hermos with RF E99 carrier ID
Operator access switch
Light curtain
4 Color configurable light tower (Front and rear)
LOTO Capability to lock out:
CDA to all slit valves
ISO Valves
Pneumatic doors
All gas / Liquid final valves
Heater power
(2) Operator interface CRT monitors:
Bay side (Through the wall flat panel with keyboard)
Plenum side (Flat panel with keyboard on stand & 25ft cable)
Diagnostic
Lamp head pump (RadOx chamber only)
Chamber pump (RadOx chamber only)
Lateral grain edge ring
Position A RTP radiance plus ATM vantage (V350):
Chamber A gas panel:
Gas MFC Size
N/O N2 50SLM
Hi O2 50SLM
Lo O2 5SLM
He 30SLM
N2 50SLM
N2 1sccm
N2 100SLM
H2 20SLM
H2 1SLM
Chamber B gas panel
Gas MFC Size
N/O N2 50SLM
Hi O2 50SLM
Lo O2 5SLM
He 30SLM
N2 50SLM
N2 1sccm
N2 100SLM
H2 20SLM
H2 1SLM
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VANTAGE RADOX est un processeur thermique rapide avancé (RTP) conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement offre un traitement thermique à haute vitesse des plaquettes à basse température, contrôlant précisément la température des plaquettes selon les besoins. L "équipement AMAT VANTAGE RADOX est une unité compacte et autonome dotée d'un boîtier unique qui permet un fonctionnement et un entretien faciles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VANTAGE RADOX dispose d'une grande chambre de four horizontale, permettant un jeu maximal du substrat. Cela offre une large marge de manœuvre pour traiter plusieurs plaquettes en parallèle, avec un haut degré de précision. Les régulateurs de température de précision du système sont très fiables et reproductibles, avec une plage de température de -150 ° C à 400 ° C Il a une vitesse de vent de four puissante allant jusqu'à 40 m/s, et un flux de chaleur élevé allant jusqu'à 1000 W/cm ^ 2 pour fournir une rampe thermique rapide et la stabilisation. L'unité est conçue avec un niveau de vide moyen-bas pour réduire l'oxydation des plaquettes et permettre des résultats de traitement thermique de haute qualité. En outre, la machine VANTAGE RADOX fournit un outil intégré de distribution de gaz avec une gamme d'options d'approvisionnement en gaz qui peuvent être adaptées aux besoins spécifiques de l'application. Cette caractéristique unique permet de contrôler l'environnement gazeux et sa livraison pendant le processus thermique. Il y a également un actif avancé de sécurité du gaz intégré pour une protection maximale des utilisateurs. Le modèle peut supporter une gamme de tailles de plaquettes, des plaquettes les plus courantes de 200 mm et de 150 mm jusqu'à 450 mm. Cette polyvalence facilite le traitement thermique de tout procédé et est une solution idéale pour des applications telles que le recuit à haute chaleur, le dépôt diélectrique d'oxyde et d'autres traitements avancés des matériaux. AMAT/APPLIED MATERIALS VANTAGE RADOX est un équipement de pointe conçu pour répondre aux besoins de l'industrie moderne des semi-conducteurs. Il offre des capacités de traitement thermique précises, rapides et sûres avec ses options améliorées de contrôle de la température, du gaz et du four. Sa livraison de gaz finement ajustée, sa manutention adaptable des plaquettes et ses équipements de sécurité avancés favorisent une qualité de traitement maximale, tout en assurant la sécurité des opérateurs.
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