Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9316452 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan est un processeur thermique rapide révolutionnaire (RTP) conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs. AMAT Vantage Vulcan dispose d'une technologie de haute efficacité en attente de brevet - All-Gas Pulse Control - qui permet des résultats supérieurs de traitement du recuit thermique avec un ciblage d'application allant de la mémoire aux structures de dispositifs logiques. De nombreux avantages de performance de APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan résultent de l'incorporation de la technologie AMAT exclusive de gravure réactive assistée par micro-ondes (MARE). Vantage Vulcan utilise MARE pour réaliser un recuit thermique avec une intensité de faisceau E et de VUV inférieure à celle des plates-formes RTP traditionnelles. Ceci réduit le risque d'endommagement du dispositif en raison de la température élevée, et réduit le coût de propriété en assurant un entretien moins fréquent de la chambre RTP. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Vantage Vulcan offre également une homogénéité supérieure de la température du substrat avec une précision supérieure à ± 3 ° C, ce qui permet des processus thermiques précis. La plate-forme offre également des temps de cycle plus courts avec des rafraîchissements plus rapides, et la flexibilité des recettes préfigurées monobloc. En outre, AMAT Vantage Vulcan offre de très faibles émissions de particules dans la chambre de procédé par rapport au matériel RTP traditionnel, assurant une dégradation minimale de l'environnement de la chambre. La plate-forme offre une introduction de gaz inerte ou active, avec la capacité d'ajuster le débit de gaz pour un contrôle de précision. Cela offre un large éventail de possibilités de processus pour les applications de métrologie diélectrique et semi-conductrice. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage Vulcan est idéal pour le recuit accéléré, la diffusion rapide, l'oxydation rapide, le développement de films en couches, et plus encore. L'unité robuste mais compacte est équipée d'une chambre d'azote, d'un nettoyage sans ammoniac et d'un régulateur de température à base d'hélium pour garantir des résultats fiables et cohérents. Le système peut être exploité en ligne ou de façon autonome, et il est livré avec plusieurs mémoire de recette et des capacités de sauvegarde de mémoire complète. Vantage Vulcan est une plateforme RTP innovante qui offre un haut mélange de performance fiable et de rentabilité.