Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9355344 à vendre en France
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Vendu
ID: 9355344
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
2015 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage Vulcan est un processeur thermique rapide de qualité de production, autonome, conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la technologie avancée des semi-conducteurs. Il est capable d'inscrire des temps de 15 secondes ou moins à des températures allant jusqu'à 1350 ° C Le Vulcan est composé d'une seule enceinte qui abrite le processeur thermique rapide (RTP) dans un environnement contrôlé. Le RTP utilise la chaleur focalisée, ainsi que la technologie brevetée à air dirigé pour fournir rapidement des profils de température uniformes et reproductibles sur des plaquettes pouvant atteindre 300mm. Il est conçu pour répondre à un certain nombre d'exigences de processus difficiles, comme pour faible-EOM, DRAM, SRAM, flash, et d'autres mémoires. Le Vulcan est facile à utiliser et peut être configuré pour exécuter plusieurs recettes de processus avec des paramètres bien définis, tels que la température du processus, la vitesse de rampe et la vitesse de déplacement du substrat. La répétabilité et la précision du processus sont assurées grâce à des recettes écrites et contrôlées par le logiciel de contrôle thermique AMAT EnGen. De plus, le Vulcan intègre un système de balayage très cohérent et fiable, assurant ainsi les détails du profil de processus. Le Vulcan réduit le temps de cycle thermique, ce qui améliore le débit et l'efficacité. Il offre également un certain nombre de capacités de processus pour répondre aux exigences exigeantes de diverses solutions de mémoire, telles que le pompage de charge, la diffusion de dopants, la fabrication de noeuds de stockage, l'oxydation thermique, le traitement à faible teneur en MOE et le dopage au silicium polycristallin. Le Vulcan permet l'intégration de la salle blanche, avec entrée et sortie rapides et efficaces des plaquettes, mais tout le traitement est fait dans l'enceinte. Il est construit avec des matériaux lourds pour assurer la fiabilité à long terme. De plus, la conception fermée permet un traitement autonome avec une contamination minimale et facilite une gestion efficace des déchets et de la chaleur. Le Vulcan est un processeur thermique rapide incroyablement fiable et efficace et sa conception compacte en fait un choix idéal pour la production de solutions de mémoire avancées d'aujourd'hui. Il fournit un traitement uniforme et répétable et il est également extrêmement rentable, contribuant à assurer des économies à long terme.
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