Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9390649 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan
ID: 9390649
Rapid Thermal Processing (RTP) systems.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Vantage Vulcan est un processeur thermique rapide (RTP) qui fournit des résultats rapides et précis pour une variété d'applications de semi-conducteurs. Cet équipement est conçu pour un débit et une précision élevés sous une forme compacte, ce qui en fait une solution efficace et rentable pour les besoins de traitement de substrat. Avec une conception de 300mm, ce RTP peut fournir recuit impulsionnel et recuit pointe des substrats de la plaquette à des vitesses beaucoup plus rapides que les méthodes traditionnelles. AMAT Vantage Vulcan effectue un traitement thermique rapide (RTP) pour optimiser le débit et la production de plaquettes et autres substrats. Ce système utilise un chauffage et un refroidissement puissants pour chauffer et refroidir rapidement les substrats à des vitesses allant jusqu'à 1250 ° C/sec. Le chauffage à l'arc immergé (SAH) dans le Vulcan permet un traitement précis et reproductible. Ce SAH fournit également un haut degré d'homogénéité, ce qui signifie que la chaleur est uniformément répartie et atteint une température cible exacte de manière cohérente et efficace. En outre, l'unité est compacte, avec un minimum de déchets et permet une uniformité de processus uniforme. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage Vulcan offre une grande polyvalence et flexibilité. Il permet le traitement de plusieurs substrats simultanément, avec jusqu'à 6 recettes de processus différentes. De plus, cette machine permet un contrôle précis de l'épaisseur de chaque couche, avec une très haute résolution de 2 nanomètres. Cette précision conduit à des niveaux de productivité très élevés, car il est moins nécessaire de retraiter des échantillons inadaptés. Vantage Vulcan offre également une excellente uniformité thermique, avec des variations de répétabilité très réduites pour tous les types de substrat. Cela aide à éliminer le besoin d'ajustements de processus et aide à augmenter les rendements dans votre processus de production. Il offre également un choix de différentes sources de réactifs, y compris H2, N2/O2, Ar/O2, et d'autres. Cela le rend adapté à une variété de matériaux et de types de procédés, y compris les oxydes métalliques avancés. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan est un choix idéal pour le traitement des plaquettes et des substrats, car il fournit un traitement thermique rapide et précis. Il a une conception optimisée pour fournir un débit élevé et une précision maximale, ainsi qu'une excellente uniformité thermique et l'homogénéité. En outre, il offre une grande polyvalence et flexibilité, avec de multiples recettes de processus et sources de réactifs. Cet outil est compact et efficace, ce qui le rend très rentable.
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