Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9225981 à vendre en France
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Vendu
ID: 9225981
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Wafer type: SNNF
A & B Chamber type: RTP Radiance RP vantage
A & B RTP Radiance RP vantage chamber:
Process application: Core anneal RTO & ISSG
O2 Analyzer
Lamp driver, P/N: 0190-17056
MFC 1: N2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 2: O2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 3: O2 5 slm HORIBA Stec sec-z11dm
MFC 7: H2 20 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 8: H2 3 slm HORIBA Stec sec-z514mgx
MFC 11: He 30 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 12: He 50 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 13: N2 100 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
WRLD Maglev assembly, P/N: 0190-14175
Interface options:
OHT WIP Delivery
Loadports, enhanced 25-wafer foup
OHT Light curtain
Chamber A interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07030
Chamber B interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07031
Remote options system monitor:
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, P/N: 0395-00099
Monitor 1 cable, 25 Foot
Monitor 2: Through the wall flat panel with keyboard, P/N: 0460-50048
Monitor 2 cable, 25 Foot
Umbilicals:
Chamber AC Box to heat exchanger, 75 Feet
H/A, AMAT / APPLIED MATERIALS KVM to user interface with EVC, 25 FT
P/N: 0140-06462 / 0150-13813 / 0150-14109
Robot, YASKAWA BTV Darp manipulator, QS Vantage FI, P/N: 0220-39516
Reflective wafer on blade, P/N: 0220-39702
Cables, P/N: 0150-14109 / 0150-13813 / 0140-06462.
(2) Facility bracket / Cover
(2) Front monitors, keyboards & bezels
Exhaust line and KF flex hoses
Gasline adapter: 90° Elbows
Options & electrical requirements:
Line voltage: 200/208 V
System safety equipment
Mainframe
Process chamber options
No heat exchanger
No rough pumps
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage est un équipement de traitement thermique rapide haute performance développé pour des applications de traitement thermique rapide à couches minces. Il fournit un recuit, un dépôt, un pré-dépôt et des traitements thermiques rapides et de haute qualité pour une variété de matériaux semi-conducteurs. Le système est conçu pour assurer une répartition uniforme de la température sur un substrat avec une grande région d'uniformité et un contrôle de la température de précision. Il dispose de trois chambres de processus, chacune capable de contrôler avec précision les températures jusqu'à 1200 ° C - la température la plus élevée de tout processeur thermique rapide sur le marché. La chambre de réaction verticale brevetée d'AMAT Vantage permet de placer avec précision les substrats chauds, et son capteur de température laser intégré et relié mesure rapidement et avec précision la température en appuyant sur un seul bouton. En outre, les mécanismes de refoulement vertical et horizontal à deux étages de la chambre permettent la plus grande taille de pas de débit et de substrat dans l'industrie. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage dispose également des dernières technologies de contrôle et de surveillance des processus. Son unité d'exécution automatisée permet d'assurer des résultats cohérents et reproductibles en automatisant toutes les étapes du processus thermique rapide. Il fournit plusieurs recettes qui sont faciles à configurer et à modifier pour s'assurer que la performance du processus répond aux exigences exactes de l'utilisateur. La machine peut également être surveillée à distance sur une connexion Ethernet. Enfin, Vantage est convivial et facile à intégrer. Sa conception tout-en-un le rend rapide et facile à installer, et son fonctionnement sans avoir à construire de matériel complexe de contrôle de flux. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage dispose d'une plate-forme entièrement en réseau pour une gestion homogène des données dans toute l'entreprise. Dans l'ensemble, AMAT Vantage est un outil idéal pour des applications de traitement thermique rapide de haute précision. Sa plage de température de processus imbattable, son contrôle et sa surveillance avancés, et sa facilité d'intégration en font le choix idéal pour les entreprises à la recherche de résultats de processus rapides, précis et reproductibles.
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