Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9226027 à vendre en France
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Vendu
ID: 9226027
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Wafer type: SNNF
A & B Chamber type: RTP Radiance RP vantage
A & B RTP Radiance RP vantage chamber:
Process application: Core anneal RTO & ISSG
O2 Analyzer
Lamp driver, P/N: 0190-17056
MFC 1: N2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 2: O2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 3: O2 5 slm HORIBA Stec sec-z11dm
MFC 7: H2 20 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 8: H2 3 slm HORIBA Stec sec-z514mgx
MFC 11: He 30 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 12: He 50 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 13: N2 100 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
WRLD Maglev assembly, P/N: 0190-14175
Interface options:
OHT WIP Delivery
Loadports
Enhanced 25-wafer foup
OHT Light curtain
Chamber A interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07030
Chamber B interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07031
Remote options system monitor:
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, P/N: 0395-00099
Monitor 1 cable, 25 Foot
Monitor 2: Through the wall flat panel with keyboard, P/N: 0460-50048
Monitor 2 cable, 25 Foot
Umbilicals:
Chamber AC Box to heat exchange, 75 Feet
H/A, AMAT / APPLIED MATERIALS KVM to user interface with EVC, 25 FT
P/N: 0140-06462 / 0150-13813 / 0150-14109
Robot, YASKAWA BTV Darp manipulator, QS Vantage FI, P/N: 0220-39516
Reflective wafer on blade, P/N: 0220-39702
Cables, P/N: 0150-14109 / 0150-13813 / 0140-06462
(2) Facility brackets / Covers
(2) Front monitors, keyboards & bezels
Exhaust line and KF flex hoses
Gas line adapter: 90° Elbows
Options & electrical requirements:
Line voltage: 200/208 V
System safety equipment
Mainframe
Process chamber options
No heat exchange
No rough pumps
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage est un processeur thermique rapide (RTP) qui est utilisé pour former des couches d'ultra-haute précision dans des circuits microélectroniques. Ce processeur est conçu pour chauffer rapidement de petits substrats sur une large gamme de températures et fournit un excellent contrôle thermique sur l'ensemble du processus. AMAT Vantage est fabriqué avec un facteur de forme compact qui peut s'adapter à la plupart des empreintes de la ligne de production et offre un contrôle thermique fiable et serré. Le processeur utilise un design de chambre personnalisable et fournit aux utilisateurs à la fois un contrôle de processus haut de gamme et une excellente répétabilité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage est équipé d'un ensemble de caractéristiques qui offrent un contrôle et une stabilité inégalés. La technologie de traitement thermique rapide (RTP) est mise en œuvre dans la machine pour permettre des transitions rapides et faciles en température. Cette fonction permet aux utilisateurs de contrôler avec précision les taux de chauffage et de refroidissement des substrats tout en obtenant des températures uniformes tout au long du processus. En outre, le processeur est conçu avec un capteur infrarouge réglable et accordable (IR) qui est utilisé pour mesurer la température du substrat. Cette fonction fournit aux utilisateurs des données en temps réel qui peuvent être utilisées pour effectuer des ajustements pendant le processus thermique. La boucle de commande embarquée au sein de Vantage permet également aux utilisateurs de contrôler avec précision le chauffage et le refroidissement du substrat. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage comprend également un ensemble de caractéristiques de sécurité supplémentaires qui garantit un environnement de travail sûr. Ces caractéristiques de sécurité comprennent un rideau de sécurité à trois couches avec un matériau polymère résistant aux chocs ainsi qu'un système de double filtration avancé pour assurer la purification de l'air. De plus, le processeur utilise des algorithmes avancés de traitement des mouvements pour prédire avec précision les dangers potentiels dans la chambre. Dans l'ensemble, AMAT Vantage est un choix idéal pour les entreprises qui cherchent à chauffer rapidement de petits substrats. Ce processeur utilise des fonctionnalités innovantes qui fournissent aux utilisateurs le plus haut niveau de contrôle de processus et de fiabilité. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage est équipé d'une multitude de caractéristiques de sécurité qui aident à assurer un environnement de travail sûr lors de l'utilisation de la machine.
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