Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9284534 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Rapid Thermal Processor est un équipement de traitement thermique avancé qui permet aux fabricants de dispositifs semi-conducteurs de produire des produits semi-conducteurs de la plus haute qualité dans les meilleurs délais. Il fournit cyclage thermique avec contrôle transitoire milliseconde, profils de température précis, et des options sophistiquées de livraison de gaz. L'équipement AMAT Vantage RTP est l'un des outils de traitement thermique les plus sophistiqués disponibles pour l'industrie des semi-conducteurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage RTP utilise plusieurs éléments chauffants pour assurer un contrôle précis de la température à chaque étape de traitement. Ces éléments chauffants sont constitués d'un radiateur infrarouge (IR), qui rayonne la chaleur, et d'une source de gaz chaud, qui transfère la chaleur. Le radiateur IR et le générateur de gaz chaud sont disposés dans un réseau de deux ou trois modules pour permettre un contrôle précis de la température. La chaleur est régulée par le contrôle actif du radiateur IR et de la source de gaz chaud pour s'assurer que la quantité exacte de chaleur est appliquée à la plaquette. Vantage RTP offre également un système de communication de chambre de processus (PCC) qui permet à l'utilisateur d'interagir avec l'unité en temps réel. Cette machine PCC fournit une rétroaction directe sur le profil de température actuel, le mouvement de l'obturateur de chambre, l'alarme de température, et d'autres paramètres via une interface utilisateur graphique. En outre, l'outil fournit l'enregistrement automatisé en temps réel pour l'extraction de données et le post-traitement détaillé. Cela permet aux utilisateurs de regarder en arrière sur les données de processus et de faire des ajustements de processus au besoin. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage RTP dispose d'un micro-processeur avec un ensemble complet de fonctionnalités qui fournissent un contrôle précis sur le profil thermique tout en permettant une flexibilité de traitement. Par exemple, AMAT Vantage RTP dispose d'un mode de profil de température multi-points, d'un mode de vitesse de rampe à grande vitesse, d'un mode de cuisson à basse température et d'un mode de recuit thermique à basse température. Ces fonctionnalités programmables permettent aux utilisateurs d'adapter le profil thermique à leurs besoins spécifiques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vantage RTP comprend également un actif de contrôle du gaz (GCS) embarqué qui fournit un contrôle précis de la température et de la composition atmosphérique. Le GCS permet également aux utilisateurs de mélanger des mélanges de gaz spécifiques et un contrôle de rétroaction en boucle fermée pour un contrôle atmosphérique précis. Cela garantit des conditions de traitement précises et reproductibles. Globalement, Vantage RTP est un modèle de traitement thermique puissant et sophistiqué. Il offre un contrôle précis de la température et des fonctionnalités programmables par l'utilisateur, permettant aux clients d'adapter le profil thermique à leurs besoins spécifiques. De plus, son GCS permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler l'atmosphère dans la chambre de processus. Cela garantit des conditions de traitement précises et reproductibles.
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