Occasion APSYSTEM Korona 1200+ #9270686 à vendre en France

APSYSTEM Korona 1200+
ID: 9270686
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2011 vintage.
APSYSTEM Korona 1200 + est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour maximiser le débit dans de nombreuses applications de couches minces. L'équipement intègre une technologie avancée de contrôle des processus, ce qui lui permet d'être optimisé pour la répétabilité et l'efficacité. Le RTP utilise la dernière technologie de pulvérisation à quartz et est capable de traiter des températures allant jusqu'à 1100 ° C Korona 1200 + est optimal pour le traitement de petits lots, de substrats variables et de matériaux difficiles, tout en conservant un excellent débit et répétabilité. Le RTP utilise un contrôleur basé sur CMOS avec des algorithmes logiciels durcis purs, permettant un contrôle de température serré à +/-2 ° C du point de consigne. L'algorithme PID avancé dans le contrôleur permet de stabiliser et d'ajuster le processus pour une efficacité optimale, améliorant encore le débit du système. Le contrôleur offre également une capacité pratique pour surveiller le processus en temps réel, ainsi que suivre la tendance historique à des fins d'analyse et de débogage. L'unité est conçue avec une empreinte compacte et une construction robuste, permettant une intégration facile dans les fabs de semi-conducteurs existants, ainsi que des paramètres de laboratoire encombrés. Le cycle de refroidissement en boucle fermée permet de dissiper la chaleur plus efficacement, tout en maintenant le contrôle précis de la température essentiel aux opérations RTP. Généralement, APSYSTEM Korona 1200 + excelle dans le traitement au niveau des plaquettes et les étapes complexes de processus en couches minces. Sa flexibilité dans les plages de température, les temps de retournement rapides et la conformité aux COV en ont fait un choix populaire dans de nombreux environnements de R-D et de production. La machine offre également une large gamme d'options de procédé, y compris le recuit thermique programmé rapide, l'oxydation, la nitridation, le recuit d'impureté, et la métallisation/dépôt. En conclusion, Korona 1200 + est un processeur thermique rapide hautement capable, offrant un traitement efficace et reproductible pour de nombreuses applications en couches minces. Son jeu de fonctionnalités robuste, associé aux algorithmes logiciels avancés, permet de gérer de manière fiable les substrats thermosensibles avec un débit supérieur.
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