Occasion APSYSTEM KORONA-1200P #9311066 à vendre en France

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9311066
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Metal RTN system, 12" Process: IMP 2005 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P est un processeur thermique rapide de pointe, un outil de fabrication à haute productivité pour le traitement thermique fiable des dispositifs et matériaux semi-conducteurs. Le processeur offre des performances supérieures pour des procédés de recuit, de diffusion et d'oxydation rapides. KORONA-1200P offre une excellente uniformité de température et de contrôle dans toute la chambre pour améliorer les résultats du processus. Il utilise un équipement de chauffage/refroidissement rapide de lampes infrarouges et de refroidisseur thermoélectrique, ce qui donne des taux de rampe de température jusqu'à 60 ° C/s et une régulation de la température jusqu'à ± 2 ° C. Les sources d'ions de dépôt d'hydrocarbures plasmatiques robustes fournissent un recuit/diffusion/oxydation rapide et d'autres contrôles de procédé pour des résultats stables à haute performance. Le système offre une unité de distribution automatisée des gaz pour la livraison exacte des gaz de procédé, ainsi qu'un four intégré pour la cuisson à sec. La machine CVD intégrée comprend l'azote-oxygène (N2O2) et l'épurateur d'eau standard pour les gaz d'échappement, pour un fonctionnement propre et sûr. En outre, il comprend une alimentation intégrée en courant continu, photodétecteur vide-UV (VUV) et microbalance à cristaux de quartz (QCM) pour un contrôle précis du processus. APSYSTEM KORONA-1200P dispose d'un contrôleur programmable avec des entrées de menu, permettant une configuration indépendante des paramètres de processus et de démarrage. Il offre une conception modulaire avec des composants réglables par l'utilisateur et des options d'automatisation flexibles, y compris la robotique et la surveillance des processus. Le processeur offre une solution d'apprentissage idéale pour les laboratoires et les applications de recherche et développement. Ses solutions logicielles avancées et ses capacités de télécommande permettent aux utilisateurs d'exécuter, de surveiller et de gérer leurs paramètres de processus depuis un endroit distant. KORONA-1200P est un outil de traitement thermique rapide, puissant, sophistiqué et fiable. C'est la solution optimale pour produire des produits microélectroniques de haute qualité et fiables rapidement et de façon rentable.
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