Occasion APSYSTEM KORONA-12SP #293610720 à vendre en France
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ID: 293610720
Style Vintage: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system
Process: IMP
2012 vintage.
APSYSTEM KORONA-12SP est un processeur thermique rapide (RTP) spécialement conçu pour l'amélioration des processus des plaquettes semi-conductrices, garantissant que la plus haute qualité de la production de dispositifs semi-conducteurs est atteinte. KORONA-12SP comporte deux chambres contrôlées indépendamment, chacune avec une température, une pression et une uniformité précises de transfert de chaleur par contact avec la plaquette. Le système de chauffage spécialisé au cœur d'APSYSTEM KORONA-12SP est conçu pour assurer un équilibre thermique précis grâce à la manipulation de tous les paramètres thermiques majeurs, y compris la puissance thermique de chaque chambre, ainsi que la température et l'énergie de la chambre de tête. Cet équilibre thermique précis assure une stabilité du procédé, qui a un rendement de puce élevé et des performances de dispositif améliorées pour des dispositifs plus cohérents et de haute qualité. Cette mesure de température stable assure également des résultats précis et reproductibles dans le temps. Le contrôle précis du processus est géré par l'utilisation de capteurs à l'état solide, qui peuvent mesurer et surveiller une gamme de paramètres. Cela comprend la capacité de surveiller les températures à l'intérieur de chaque chambre et à travers la plaquette elle-même. Ces données sont collectées en temps réel et peuvent être utilisées pour ajuster rapidement les paramètres thermiques, assurant des résultats de processus reproductibles et reproductibles. En outre, KORONA-12SP peut être configuré pour accueillir une gamme de tailles de plaquettes, de 25mm à 200mm. Cette combinaison avec la robuste capacité de transfert de chaleur du système garantit que la meilleure uniformité thermique possible est atteinte sur une gamme de tailles de plaquettes. APSYSTEM KORONA-12SP a également la capacité de traiter une gamme de matériaux dont le silicium, les matériaux organiques et d'autres substrats. KORONA-12SP est une solution avancée de RTP qui fournit un environnement thermique précis pour l'amélioration des performances de processus des plaquettes semi-conductrices. Son homogénéité thermique précise, combinée au contrôle détaillé des processus fourni par son système de surveillance embarqué, permet d'assurer une production de haute qualité des appareils avec des résultats cohérents et reproductibles.
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