Occasion AXCELIS / FUSION Integra RS #293593049 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Integra RS est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour supporter des processus de diffusion thermique rapide tels que l'oxydation rapide, le recuit et l'entraînement. Ce procédé est de plus en plus populaire dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de ses capacités polyvalentes et de son efficacité. FUSION Integra RS est conçu pour permettre un ajustement paramétrique rapide et fiable, améliorer les performances des processus et optimiser la fonctionnalité des appareils. AXCELIS Integra RS est doté d'une conception mécanique qui offre une flexibilité maximale et un temps de fonctionnement. Sa technologie exclusive Rapid Thermal Ramp assure un contrôle uniforme de la température et des performances sur de grandes tailles de plaquettes, ce qui le rend adapté à une variété d'options de processus. Le système est équipé de bras radiaux à double secteur et de zones actives à commande logicielle pour un contrôle facile et uniforme de la température du substrat. Integra RS dispose également de sécurité avancée et de protection de l'environnement. Son système avancé de vide et de remblayage permet un traitement atmosphérique stable, tout en préservant l'environnement du processus. Des fonctionnalités de conception de sécurité avancées sont incluses, y compris des emboîtements de sécurité, des alarmes sonores et des boutons de dépassement. AXCELIS/FUSION Integra RS assure l'uniformité des processus tant électriques que structurels. Le système prend en charge une large gamme de températures de processus et peut être personnalisé pour répondre à des exigences de processus spécifiques. En outre, FUSION Integra RS est livré avec des technologies avancées de capteurs optiques et de température qui peuvent fournir la mesure et la rétroaction en temps réel de la température, ainsi que l'analyse post-processus. AXCELIS Integra RS est conçu pour fournir un débit accru, un faible coût de traitement et des résultats fiables et reproductibles. Avec sa conception de sécurité avancée, sa protection de l'environnement et sa technologie de régulation de la température, Integra RS est la solution RTP idéale pour des applications allant des appareils MEMS à la photovoltaïque de grande surface.