Occasion AXCELIS / FUSION Integra RS #293615015 à vendre en France

Le processeur thermique rapide AXCELIS/FUSION Integra RS de FUSION est une chambre de traitement semi-conducteur avancée qui fournit un traitement thermique précis et précis pour diverses applications et marchés. FUSION Integra RS a une conception avancée qui permet un contrôle maximum des paramètres de traitement, permettant une qualité de traitement imbattable et la répétabilité. Le processeur thermique rapide AXCELIS Integra RS propose deux systèmes distincts, le Standard et le Plus, qui offrent tous deux une gestion thermique efficace et une uniformité de température précise qui réduit les dommages liés à l'alignement. Les systèmes Standard et Plus permettent aux utilisateurs d'atteindre des températures de substrat de 1450 ° C et 1550 ° C, respectivement. Ce dernier offre également un traitement thermique plus rapide avec une vitesse de rampe maximale de 12 000 ° C/min, ce qui le rend adapté aux applications à haute vitesse et à haute puissance, tandis que la variété standard peut atteindre jusqu'à 10 000 ° C/min. Le processeur thermique rapide Integra RS intègre plusieurs caractéristiques de conception clés qui garantissent des résultats précis et reproductibles. Sa chambre à vide est logée dans une enceinte thermiquement stable, assurant une uniformité de température, un rendement thermique et un contrôle de température. Sa conception hautement configurable permet également aux utilisateurs de personnaliser les caractéristiques de la chambre selon leurs exigences exactes. AXCELIS/FUSION Integra RS utilise un équipement d'entraînement linéaire ultra-précis pour un mouvement automatique des plaquettes pour un chargement et un déchargement précis des plaquettes. Sa chambre de réaction ultramoderne offre aux utilisateurs un contrôle des gaz avancé, notamment un contrôle précis du débit et de la pression des gaz sources, et un système de contrôle breveté pour gérer le débit massique. FUSION Integra RS Rapid Thermal Processor offre une suite de pieds et d'accessoires en option, y compris un comburant, un purificateur, un amortisseur et un suscepteur de quartz, permettant aux utilisateurs de mettre à niveau leur unité comme ils le souhaitent. Ses systèmes de sécurité avancés améliorent la sécurité des utilisateurs et la disponibilité des machines, protégeant contre les risques potentiels de traitement à haute température. En conclusion, AXCELIS Integra RS Rapid Thermal Processor offre des performances inégalées dans le traitement thermique, permettant aux utilisateurs de maximiser les rendements et de réduire les pertes de rendement. Cet outil avancé offre une combinaison imbattable de vitesse, de précision, d'uniformité de température et de contrôle, ce qui en fait un choix idéal pour une gamme de besoins de traitement de semi-conducteurs.