Occasion AXCELIS Summit #9359567 à vendre en France

AXCELIS Summit
ID: 9359567
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
AXCELIS Summit est un processeur thermique rapide (RTP). C'est un outil thermique à haut débit conçu pour le traitement électronique de dispositifs dans l'industrie des semi-conducteurs. Summit est le processeur thermique rapide le plus fiable et le plus efficace actuellement disponible. AXCELIS Summit offre une combinaison de performances thermiques supérieures, d'uniformité et de précision qui est critique pour la fabrication d'appareils avec les plus hauts niveaux de contrôle. Summit dispose de deux chambres indépendantes à double zone, chacune fournissant des fonctions de chauffage et de contrôle indépendantes pour une uniformité de température optimale et une précision de traitement. La chambre de processus d'AXCELIS Summit dispose d'un système innovant d'éléments de chauffage indirect qui distribue uniformément l'énergie sur l'ensemble de sa zone, assurant un contrôle précis du profil de chauffage des plaquettes. La technologie avancée de détection et de contrôle de température fournit une excellente précision de profil et des températures de chambre élevées pour des performances d'appareil supérieures. Le système de chauffage à double zone de Summit utilise une technologie de chauffage direct/indirect unique pour offrir une uniformité de température supérieure et un profil de température stable et prévisible. Un RTP monocouche offre un ensemble unique d'éléments chauffants radiatifs contrôlés par des contrôleurs indépendants, indépendants et programmables. Cette double zone RTP fournit deux éléments de chauffage radiatif, chacun avec son propre contrôleur dédié, de sorte que le profil de température et l'uniformité dans chaque zone peuvent être ajustés indépendamment. AXCELIS Summit est hautement personnalisable et configurable pour répondre aux besoins de pratiquement toutes les applications de traitement des plaquettes. Il supporte de nombreux processus différents, y compris des recettes standard et avancées à haute température. La régulation de température est polyvalente et flexible, limitée uniquement par les limites de l'application. Les nombreuses options de Summit comprennent la sélection de recette à distance, les algorithmes de contrôle avancés, la validation automatique du matériel de détection de recette, les capacités de rotation, le chauffage latéral arrière, les configurations de plusieurs cassettes de plaquettes et le contrôle indépendant de la température en boucle fermée de chaque zone de chauffage. L'interface conviviale d'AXCELIS Summit permet un contrôle de température très précis et élimine le besoin de calculs complexes pour modifier les recettes. Son interface graphique intuitive permet aux utilisateurs de contrôler le RTP facilement et efficacement avec un réglage minimal. Summit est une solution fiable, performante et économique pour le traitement des plaquettes simples. Il offre des performances thermiques et une uniformité supérieures pour garantir les niveaux les plus élevés de rendement et de performance du dispositif. C'est un choix idéal pour ceux qui ont besoin d'une solution de traitement efficace, fiable et précise.
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