Occasion BOC EDWARDS Helios-S #9203025 à vendre en France

BOC EDWARDS Helios-S est un processeur thermique rapide (RTP) flexible et performant conçu pour améliorer les performances des procédés semi-conducteurs. Il est capable de mener une gamme de processus sécurisés rapidement et uniformément. Il offre une homogénéité de température meilleure que ± 1 ° C sur l'ensemble de la plaquette, offrant des performances fiables et rentables. Helios-S est conçu pour des applications de recherche à petite échelle et une production à haut volume. Il permet un traitement thermique de précision sur une plage allant de 25 à 1200 ° C Il offre une excellente homogénéité de température, des atmosphères uniformes et une stabilité exceptionnelle pour un profil de température homogène, permettant une meilleure cohérence et répétabilité du procédé. Il utilise des variantes avancées du procédé classique de recuit thermique rapide (RTA), permettant des procédés de fabrication à haut débit. Le processeur dispose de taux d'élévation et de chute rapides, permettant des changements uniformes et rapides des températures. Il en résulte une précision et une uniformité améliorées, ce qui permet d'améliorer les performances du dispositif et de réduire la taille de la filière. BOC EDWARDS Helios-S comprend des configurations de tubes verticaux et horizontaux pour répondre à une variété d'exigences de processus. Il supporte également le traitement monoplace et multi-faces de plaquettes jusqu'à 300mm. Il utilise un équipement de distribution de gaz hybride classique pour fournir le flux désiré de gaz de procédé et inertes. Helios-S utilise un système de contrôle d'automatisation conçu sur mesure qui est accessible en réseau à plusieurs processeurs, permettant des paramètres de processus flexibles. En outre, l'unité comprend des capacités de contrôle pour les outils de caractérisation des appareils haute fréquence, permettant d'améliorer les performances du processus. BOC EDWARDS Helios-S est conçu pour un fonctionnement pratique et fiable. Il utilise un logiciel convivial, permettant aux utilisateurs de configurer et de faire fonctionner la machine rapidement. Il offre des capacités pratiques d'enregistrement des données, permettant aux utilisateurs de modifier les consignes et de visualiser les valeurs de journal à distance. En outre, le processeur comprend des capacités intégrées de contrôle des processus et de vérification des dispositifs, assurant des performances répétables. En résumé, Helios-S est un processeur thermique rapide avancé capable de traiter de façon sûre et à haut débit sur une gamme de températures. Il offre une excellente homogénéité de température, des atmosphères uniformes et une stabilité exceptionnelle pour un profil de température homogène pour une meilleure cohérence et répétabilité du procédé. En outre, il dispose d'un outil de contrôle d'automatisation pratique et d'un logiciel convivial pour un fonctionnement pratique et fiable.