Occasion BOC EDWARDS Helios #168833 à vendre en France
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ID: 168833
Process scrubber
Combination process gas abatement tool:
With inwardly fired
Natural gas oxidation section: (3) Stage wet scrubbers
Capable of handling 200 lpm
Silicon epitaxy
III-V MOCVD
Silicon germanium epitaxy.
BOC EDWARDS Helios est un processeur thermique rapide (RTP) fabriqué par BOC EDWARDS, un chef de file technologique dans les systèmes sous vide, la réduction et la fabrication de semi-conducteurs. Helios RTP est un équipement de traitement de plaquettes parallèle haute performance spécialement conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs. BOC EDWARDS Helios RTP fournit une solution unique et automatisée pour diverses opérations de traitement, y compris l'oxynitridation thermique, le recuit, la diffusion et la gravure. Il est capable de traiter jusqu'à seize plaquettes à un diamètre pouvant atteindre huit pouces, avec une charge totale de soixante-huit plaquettes. Helios RTP dispose d'un design modulaire avec la capacité d'étendre, permettant aux fabricants la flexibilité de configurer leur système pour répondre à leurs besoins de production. L'unité dispose de cinq modules indépendants, chacun avec son propre contrôleur pour fournir des performances uniformes, répétables et fiables. La E-Century Automation Machine contrôle, surveille et gère les opérations de traitement pour fournir des résultats cohérents et fiables sans nécessiter de réglage manuel ou de modification fréquente du programme. L'outil E-Century Automation s'intègre également aux systèmes d'automatisation en usine et de surveillance des processus tels que les logiciels de gestion des ressources à l'échelle de l'entreprise (ERP) pour assurer la compatibilité avec les systèmes de production existants. La navette wafer maximise l'efficacité en assurant un contrôle ininterrompu et en temps réel du processus. Cela permet de réduire considérablement le temps nécessaire pour charger et décharger les lots, ce qui signifie des cycles de production plus efficaces et plus économiques. BOC EDWARDS Helios RTP est idéal pour les fabricants qui recherchent un haut débit, un contrôle précis et une flexibilité maximale dans leurs processus de production de semi-conducteurs. Avec sa conception modulaire, ses performances de traitement uniformes, son logiciel intégré et son fonctionnement automatisé, Helios RTP fournit des résultats fiables et reproductibles avec une productivité maximale.
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