Occasion BOC EDWARDS Helios #9096427 à vendre en France

BOC EDWARDS Helios est un processeur thermique rapide avancé (RTP) qui permet d'intégrer facilement des procédés de recuit thermique tels que la silicisation, l'activation dopante, la cicatrisation des défauts, la métallisation et la cristallisation dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'équipement de traitement thermique d'Helios utilise une combinaison de lampes de grande puissance et de chauffages à gaz qui peuvent être configurés pour fournir des températures allant jusqu'à 1 200 ° C Sa capacité de chauffage étroitement contrôlée est idéale pour une gamme d'applications de procédé incluant recuit, recristallisation, durcissement et recuit à motifs. BOC EDWARDS Helios est conçu en utilisant une double zone de contrôle et un système de radiateur de chaleur YAG dopé breveté. Ceci permet un haut degré de flexibilité et de contrôle de puissance, permettant à l'utilisateur de basculer rapidement entre les processus tout en conservant un haut degré de fidélité et d'uniformité de traitement. Helios comprend également un contrôleur d'interface graphique (GUI) puissant, permettant un fonctionnement efficace et une meilleure visibilité des processus. Le système comprend une variété d'outils de surveillance, comme une caméra infrarouge intégrée, pour surveiller les paramètres du processus et les performances de la machine grâce à son logiciel d'analyse, offrant à l'utilisateur une visibilité en temps réel dans le processus. En outre, BOC EDWARDS Helios propose plusieurs systèmes de contrôle pour gérer précisément le processus thermique tout en atteignant des débits élevés. Cela inclut la commande en boucle ouverte, la commande manuelle et la commande entièrement automatisée par recette. Helios dispose également d'une unité de purge N2 haute spécification, qui élimine la nécessité de stocker de grandes quantités d'azote, ainsi qu'une machine à réactif Micro ESC pour la construction et la gestion des recettes. Cela permet de s'assurer que tous les matériaux liés au processus sont rapidement et correctement introduits dans l'outil. BOC EDWARDS Le processeur thermique rapide Helios est idéal pour la plupart des applications nécessitant un traitement thermique rapide et précis. Avec sa configuration flexible, ses systèmes de contrôle robustes et son logiciel intuitif, Helios permet aux utilisateurs de maximiser les performances des appareils tout en minimisant le temps et le coût des processus.