Occasion DNS / DAINIPPON LA-820 #9148527 à vendre en France

DNS/DAINIPPON LA-820 est un processeur thermique rapide (RTP) utilisé pour le traitement thermique de substrats ou de plaquettes afin de créer les propriétés électriques, optiques et mécaniques souhaitées. Le RTP utilise une combinaison d'éléments chauffants, de systèmes de contrôle du gaz et de technologies sous vide pour assurer un traitement thermique uniforme du substrat, tout en assurant une perte de chaleur ou un rayonnement minimal à l'extérieur de la chambre. DNS LA820 dispose de deux chambres indépendantes, qui sont idéales pour les procédés qui nécessitent des températures différentes à différents stades. Chaque chambre étant exploitée de façon indépendante, elle permet des temps de cycle plus rapides, des coûts d'entretien moins élevés et une moindre contamination entre les processus. Il dispose également d'un système de régulation de température qui permet un contrôle précis des températures d'une chambre à l'autre. Le RTP possède un pyromètre de grande précision qui mesure la température du substrat en continu et indépendamment pour chaque chambre. Cela permet de maintenir le réglage précis de la température pendant le processus. Le pyromètre peut mesurer des températures jusqu'à 900 ° C L'homogénéité de température entre chambres est également comprise ± 1 ° C DAINIPPON LA 820 dispose également d'un temps de cycle rapide qui minimise les coûts énergétiques. Son régulateur de débit de gaz permet un contrôle indépendant du débit de gaz pour chaque chambre. Ceci fournit un contrôle précis du gaz qui assure une mesure fiable de la température d'attente. Le temps de cycle total du RTP varie typiquement de 10 secondes selon la taille du substrat, le profil de température et les gaz utilisés. En plus du contrôle des gaz, LA 820 dispose également d'un système de vide actif qui contient une turbomachine en spirale intégrée et une pompe à rugissement. Cela élimine la nécessité d'une pompe externe et empêche la contamination entre les procédés. Le système de vide intégré fournit également une atmosphère contrôlée pour des procédés tels que l'oxydation ou la nitridation. Dans l'ensemble, DNS/DAINIPPON LA 820 est un processeur thermique rapide efficace qui peut fournir une grande précision, un traitement thermique à haute température pour les substrats et les plaquettes. Il fournit des temps de cycle rapides et un contrôle précis de la température, tout en fournissant un contrôle fiable du gaz et une atmosphère contrôlée.