Occasion EATON NOVA / AXCELIS Summit XT #9095589 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS Summit XT est un processeur thermique rapide qui traite rapidement des matériaux de wafer de qualité tels que le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium et les superlattices à des températures allant de 600 ° C à 800 ° C Il est spécialement conçu pour des applications de lithographie sub-micron, permettant la gravure précise et le dopage de couches métalliques et d'autres matériaux pour la création de plaquettes. AXCELIS Summit XT peut traiter jusqu'à 18 plaquettes à la fois et peut fonctionner en continu, permettant la fabrication de plusieurs plaquettes en peu de temps. L'équipement utilise la technologie de chauffage par induction, développée par AXCELIS, pour chauffer les plaquettes rapidement et efficacement. Le système dispose également d'un calcinateur à paroi chaude à quatre zones appelé Pulsar 12, avec un élément résistif chauffant optimisé, permettant un contrôle précis de la température. EATON NOVA Summit XT offre une précision et une répétabilité élevées, ainsi qu'une fenêtre de processus pour l'oxydation thermique et la gravure. Il comporte des étapes automatisées de processus contrôlé par ordinateur ainsi qu'une capacité d'autodiagnostic pour une sécurité accrue de l'opérateur. La machine est également équipée de diagnostics avancés, tels que profil de température numérique et rétroaction de température par zone. Une base de données de recettes en temps réel est disponible, permettant des processus reproductibles préprogrammés. Summit XT offre une excellente uniformité des procédés et une meilleure répétabilité des procédés, en particulier lorsqu'il s'agit de matériaux difficiles à traiter comme le silicium polycristallin. C'est une unité à faible entretien, conçue avec des composants modulaires et une redondance préventive pour une réparation et un service faciles. EATON NOVA/AXCELIS Summit XT comprend de nombreuses fonctionnalités standard, telles que des ports internes de mesure de la température du thermocouple et un contrôleur de processus fournissant à la machine une action automatique en temps réel. Il comprend également une surveillance détaillée des processus, un verrouillage automatique de sécurité et un relais de contrôle de sécurité. L'outil offre également des options de contrôle ambiant Azote et Argon, l'arrêt automatique du gaz, et une connexion d'arrêt à distance. En résumé, le processeur thermique rapide AXCELIS Summit XT est un atout fiable et précis qui est conçu pour traiter rapidement les plaquettes avec précision et répétabilité. Il est simple à utiliser, offre une variété d'options de processus, et fournit des diagnostics avancés et des fonctionnalités de sécurité.