Occasion GASONICS / NOVELLUS VHP #293756858 à vendre en France

ID: 293756858
Taille de la plaquette: 4"-8"
Thermal processing system, 4"-8" Gases: O2, Steam oxidation, N2, NO Pressure: 1-25 ATM No Eurotherm controller Temperature: 600-1100°C.
GASONICS/NOVELLUS VHP, également connu sous le nom de Rapid Thermal Processeur (RTP), est un outil de traitement semi-conducteur de pointe utilisé dans la fabrication de circuits intégrés. Cette technologie de pointe joue un rôle crucial dans la production de dispositifs semi-conducteurs en fournissant des capacités de traitement thermique rapides et précises. GASONICS VHP offre des performances inégalées en termes de vitesse, de régulation de température et d'uniformité, ce qui en fait un outil indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de NOVELLUS VHP est sa capacité à chauffer rapidement et refroidir les plaquettes à semi-conducteurs à des températures précises, typiquement comprises entre 800 et 1200 degrés Celsius. Cette capacité de traitement thermique rapide permet le recuit précis, l'activation dopante et l'oxydation des matériaux semi-conducteurs sur la surface de la plaquette, permettant la création de dispositifs semi-conducteurs avancés avec des performances et une fiabilité élevées. VHP utilise une source lumineuse à haute puissance, typiquement une lampe au xénon, pour chauffer rapidement la plaquette de semi-conducteur. L'énergie lumineuse est absorbée par la plaquette, conduisant à une augmentation rapide de la température tout en minimisant les effets thermiques indésirables sur les matériaux environnants. Ce contrôle précis du processus de chauffage est essentiel pour assurer l'uniformité sur la surface de la plaquette et assurer la qualité et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs. En plus de ses capacités de chauffage rapide, GASONICS/NOVELLUS VHP dispose de systèmes de régulation de température avancés qui permettent de rater et de stabiliser la température avec précision lors des étapes de traitement thermique. Ce contrôle de température est essentiel pour obtenir les propriétés et les performances souhaitées du matériau, car les variations de température peuvent conduire à des défauts et diminuer le rendement global du procédé de fabrication des semi-conducteurs. GASONICS VHP est également équipé de systèmes avancés de contrôle du débit de gaz et de la pression, permettant un contrôle précis de l'environnement du processus pendant le traitement thermique. Ceci permet de s'assurer que les matériaux semi-conducteurs sont exposés aux mélanges gazeux optimaux et aux pressions requises pour des étapes de traitement spécifiques, telles que l'oxydation ou le recuit, tout en minimisant la contamination et les réactions indésirables à la surface de la plaquette. Un autre avantage clé de NOVELLUS VHP est son empreinte compacte et ses capacités de débit élevées, ce qui le rend adapté aux environnements de fabrication de semi-conducteurs à haut volume. Le système est conçu pour une intégration homogène dans les lignes de fabrication de semi-conducteurs existantes, offrant aux fabricants la flexibilité nécessaire pour produire à grande échelle et répondre aux demandes croissantes du marché. Dans l'ensemble, VHP est un processeur thermique rapide de pointe qui offre des performances, une précision et une fiabilité inégalées dans le traitement des semi-conducteurs. Avec son contrôle thermique avancé, ses capacités de traitement à grande vitesse et sa conception compacte, GASONICS/NOVELLUS VHP est un outil essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs qui veulent produire des appareils de haute qualité avec des performances et une efficacité améliorées.
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