Occasion MATTSON Hel-A4906 #9384683 à vendre en France

MATTSON Hel-A4906 est un processeur thermique rapide (RTP) qui assure un chauffage, un refroidissement et une uniformité précis sur les plaquettes semi-conductrices. L'équipement fournit des profils de température précis pour le développement et la caractérisation rapides des processus. Il s'agit d'un appareil à commande informatique basé sur la technologie Standard Thermal Chassis (STC), permettant la configuration et la surveillance de chaque étape de processus en temps réel. Hel-A4906 est équipé d'un environnement inerte pour permettre des processus sans contamination. Le RTP a un fonctionnement à deux zones et peut ajuster les températures de 20 à 800 ° C Deux réglages de température, deux réglages de pression de processus et une large plage de rampe de température permettent des processus thermiques précis et reproductibles pour tous les types d'application. Le RTP est également équipé d'une technologie de microgravité avancée, qui vise à réduire les non-uniformités thermiques à la surface des applications semi-conductrices et permet d'améliorer l'uniformité. MATTSON Hel-A4906 dispose également d'un système de vide de classe supérieure, permettant un contrôle précis des processus de moyenne à basse pression, allant de 0,00100 à 760 Torr. L'unité à vide comprend une diffusion multi-étages et une turbomachine pour un taux d'évacuation le plus élevé possible. Une machine à vide supplémentaire en option peut être incorporée dans l'outil pour fournir un traitement sous vide ultra-élevé. L'atout RTP est conçu pour être compatible avec un large éventail d'outils de contrôle de la qualité : l'instrument peut être intégré avec des systèmes de microscope optique, des microscopes électroniques à balayage in situ (SEM) et des spectromètres à rayons X. Il comprend également une alimentation en gaz, des contrôleurs de débit massique et un protocole de communication embarqué pour des applications externes. Le modèle permet l'intégration de plusieurs ressources personnalisées, telles que les pompes, les collecteurs, les vannes et les détecteurs de fuite d'hélium. En outre, l'équipement dispose d'une multitude de dispositifs de sécurité, tels qu'une protection indépendante contre les températures excessives et un système d'arrêt automatique qui fonctionne en cas de détection d'un défaut critique de sécurité. Des blocs de cuivre sont utilisés pour la stabilisation des échantillons et l'uniformité thermique. L'unité permet également l'intégration d'une source RF supplémentaire. Globalement, Hel-A4906 est une machine RTP leader dans l'industrie qui fournit un contrôle précis des profils de chauffage et de refroidissement pour soutenir des processus rapides et uniformes. Ses outils intégrés de contrôle de la qualité et ses fonctionnalités avancées garantissent des performances et une reproductibilité fiables.