Occasion MATTSON HELIOS #293762406 à vendre en France

MATTSON HELIOS est un processeur thermique rapide conçu pour chauffer et refroidir rapidement les matériaux des plaquettes semi-conductrices avec précision et répétabilité. C'est un outil de procédé semi-automatisé en boucle fermée où la température de la plaquette est ajustée en fonction de la rétroaction du capteur thermique et de la température réelle de la surface de la plaquette qui est surveillée. Le processeur thermique est équipé d'un équipement de réponse thermique rapide qui assure un environnement de température plus stable pour la plaquette, permettant un contrôle de température pendant une longue période de temps. Il dispose également d'un système de contrôle des gaz à débit variable qui supporte plusieurs flux de gaz. Cette unité permet d'établir une plage de températures en modifiant la pression/débit de toute combinaison de gaz. HELIOS est principalement utilisé pour recuit des plaquettes lors d'étapes de processus thermique, telles que l'oxydation, la diffusion et l'implantation ionique. Les réglages de température réglables lors de l'oxydation peuvent améliorer les caractéristiques électriques des dispositifs en cours de traitement. En contrôlant la température, il est possible d'atteindre des températures plus élevées plus rapidement et plus précisément que ce qui pourrait être fait autrement par les procédés traditionnels de recuit. La mise à niveau de la machine est également pratique, car elle peut être programmée pour différentes recettes de processus et différents types de plaquettes. Il dispose également d'un contrôleur intégré qui permet la surveillance et le contrôle des processus. De plus, son interface graphique intuitive permet une programmation et une optimisation des processus faciles. MATTSON HELIOS est également utilisé pour soulager le stress. Son outil de réponse thermique rapide permet la création de plaquettes sans contrainte avec des résultats fiables et constants. En maintenant des températures élevées, puis en refroidissant rapidement les matériaux de la plaquette jusqu'à température ambiante, le processus de détente aide à relâcher uniformément les contraintes résiduelles dans la structure de la plaquette. HELIOS possède des caractéristiques supérieures en termes de régulation de température, de répétabilité et de mise à niveau. En fournissant un chauffage de précision des matériaux de plaquettes semi-conductrices avec des températures réglables, il est idéal pour obtenir de bonnes caractéristiques électriques ainsi que le soulagement des contraintes. Cela en fait le choix idéal pour répondre à des exigences de production modérées à élevées dans l'industrie des semi-conducteurs.