Occasion MATTSON Helios #293821467 à vendre en France

MATTSON HELIOS est un processeur thermique rapide (RTP), spécialement développé pour des applications de procédés dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un système à basse pression et haute température qui est conçu pour chauffer et refroidir rapidement et avec précision, permettant aux utilisateurs de traiter uniformément les plaquettes. Les principales applications d'HELIOS comprennent le recuit thermique rapide, l'activation, la diffusion, l'oxydation et la nitridation de matériaux semi-conducteurs. Le système est équipé d'une chambre de traitement à haute température à réponse rapide, d'un régulateur de température, d'un moniteur RTP et de services d'assistance. MATTSON HELIOS est un processeur thermique rapide à élévation d'angle de 6 pouces et 100 mm. Il est conçu pour chauffer et refroidir rapidement les plaquettes avec uniformité en utilisant deux méthodes de chauffage distinctes. La première est une source de chauffage directe, qui assure le chauffage direct des plaquettes à partir des éléments chauffants. La seconde est une méthode de ligne de visée indirecte, qui incorpore une fenêtre de ligne de visée dans le système, ce qui permet à l'énergie de passer à travers et de chauffer ou de refroidir au besoin. On obtient ainsi un chauffage ou un refroidissement encore plus uniforme sur la surface de la plaquette. HELIOS intègre également plusieurs fonctionnalités pour une surveillance précise de la température. Ces caractéristiques comprennent un affichage de lecture de température en temps réel, une sonde thermique de temps de vol, et un paramètre de diffusivité thermique sélectionnable par l'utilisateur pour un contrôle précis de la température. La sonde de temps de vol mesure le temps qu'il faut pour que l'énergie émise par les éléments chauffants atteigne la plaquette, ce qui permet de calculer la température optimale pour le procédé souhaité. MATTSON HELIOS a également plusieurs fonctionnalités qui fournissent aux utilisateurs des résultats très précis et reproductibles. Ces caractéristiques comprennent un cycleur de température, un minuteur d'inclinaison et un moniteur de micro-contamination. Le cycleur de température offre un moyen pratique pour les utilisateurs de cycle à travers le processus pour améliorer la précision et la répétabilité. Le temporisateur d'inclinaison ajuste automatiquement l'angle d'inclinaison du RTP en fonction du temps de maintien requis pour un processus donné. Enfin, le moniteur de micro-contamination permet de détecter avec précision les contaminants au cours du processus. En outre, HELIOS est conçu avec des mesures de sécurité pour assurer la sécurité de tout le personnel travaillant près de l'unité. Ceci comprend une chambre en verre, qui ferme automatiquement l'unité lorsque l'exposition à la chambre est détectée. Il comprend également des systèmes anti-incendie et une fermeture automatique si les micro-ondes sont surémises. En conclusion, MATTSON HELIOS est un processeur thermique rapide polyvalent et fiable qui assure un chauffage et un refroidissement uniformes pour une grande variété de procédés semi-conducteurs. Il dispose d'une conception ergonomique, assure la sécurité du personnel, et fournit un contrôle de température précis pour des résultats précis et reproductibles.