Occasion MATTSON HELIOS #9315046 à vendre en France

MATTSON HELIOS est un processeur thermique rapide (également connu sous le nom de RTP) utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Créé par MATTSON Technology, HELIOS est un équipement de traitement thermique entièrement automatisé utilisé dans la fabrication de puces, capable de fournir des processus thermiques précis qui sont essentiels à la formation de produits semi-conducteurs avancés. MATTSON HELIOS RTP est conçu pour le traitement thermique rapide de divers substrats tels que le silicium, les composés III-V et les matériaux à larges bandes passantes. Il offre un temps de traitement thermique extrêmement rapide, avec des transitions rapides de température et des plages d'uniformité sur toutes les plaquettes. En outre, ce RTP est capable de fournir des procédés à haute température et à haute dose, parfaits pour des applications telles que le dopage, l'implantation, l'oxydation, la nitridation et le dépôt chimique en phase vapeur de métaux organiques (MOCVD). La conception robuste et la configuration modulaire du système peuvent facilement répondre à toutes les exigences de processus spécifiques. HELIOS RTP est une unité compacte et efficace, fournissant un traitement thermique dans un très petit espace. Il est configuré avec des systèmes de contrôle thermique et de rétroaction de pointe pour garantir des profils de température, une précision et une automatisation avant répétables. En outre, la machine comprend un robot avant automatisé avec une manipulation intégrée des plaquettes et des options comme la température atmosphérique intégrée et la mesure et le contrôle de la pression. L'outil est également conçu avec le meilleur module d'oxydation thermique et de nitridation, ainsi qu'un module MOCVD ultra-propre pour le dépôt de matériau pur. Il dispose également de systèmes optionnels de dépôt d'aluminium, de tantale et de cobalt avec des couches de barrière au nitrure de tantale qui minimisent la contamination. L'actif comprend également des capacités d'auto-nettoyage, un débit élevé, des outils de diagnostic supplémentaires et des capacités d'assistance à distance. Dans l'ensemble, MATTSON HELIOS est un RTP fiable et précis, offrant une large gamme de fonctionnalités avancées pour répondre à tous les besoins de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une solution économique pour le traitement thermique à haute vitesse, offrant un alignement automatisé et un contrôle de processus pour un traitement rapide et cohérent.