Occasion MATTSON HELIOS #9378666 à vendre en France

MATTSON HELIOS est un processeur thermique rapide (RTP) conçu pour le traitement automatisé d'une large gamme de substrats. Les systèmes RTP sont utilisés dans diverses applications, y compris la fabrication électronique, la fabrication de dispositifs biomédicaux et la fabrication de dispositifs nano-électroniques. L'équipement RTP se compose de plusieurs éléments qui travaillent ensemble pour traiter rapidement et avec précision un substrat. Les principaux composants d'un système RTP comprennent un contrôleur, un préchauffeur (ou une source de préchauffage), des plaques de chauffage, un suscepteur, un mandrin sous vide, un échangeur de chaleur et une distribution de gaz. Le contrôleur est utilisé pour régler les températures de chacun des composants, et peut varier les paramètres de traitement tels que la température, la pression et le débit de gaz. Le contrôleur fournit également des interfaces externes pour la surveillance, le contrôle et la communication. La source de préchauffage chauffe la surface du substrat à une température spécifique avant chaque étape de traitement pour obtenir une température homogène dans tout le matériau. Ceci se fait généralement à l'aide de chauffages à résistance électrique, la source de préchauffage HELIOS utilise une lampe infrarouge. Les plaques chauffantes fournissent de l'énergie au substrat pendant le processus. MATTSON HELIOS utilise les micro-ondes, la convection et le chauffage ohmique pour assurer un chauffage rapide et régulier du substrat. Le suscepteur, monté sur la face inférieure des plaques chauffantes, sert à maintenir le substrat pendant le traitement. HELIOS susceptor utilise un matériau céramique à haute conductivité thermique pour un transfert de chaleur efficace. Le mandrin sous vide est utilisé pour maintenir le suscepteur et le substrat en place, ainsi que pour fournir des joints de vide pour créer une chambre à vide. MATTSON HELIOS utilise un mandrin à vide 3 points de support pour un alignement précis du substrat. L'échangeur de chaleur refroidit la température du substrat après traitement, évitant les dommages thermiques ou le surtraitement des échantillons. L'échangeur de chaleur HELIOS utilise une combinaison de convection, de conduction et de refroidissement radiatif pour un refroidissement efficace. Enfin, la machine d'amenée de gaz fournit des gaz inertes ou réactifs à la chambre de procédé, assurant l'atmosphère appropriée pour le procédé. MATTSON HELIOS utilise un outil de distribution de gaz en plusieurs étapes qui permet un contrôle précis du débit, de la pression et du type de gaz utilisés. HELIOS est un RTP puissant et fiable pour un traitement rapide et précis du substrat. Sa combinaison de source de préchauffage, plaques chauffantes, suscepteur, mandrin sous vide, échangeur de chaleur, et l'actif de livraison de gaz en font une solution idéale pour le traitement de précision du substrat.