Occasion MATTSON HELIOS #9382891 à vendre en France
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ID: 9382891
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
2009 vintage.
MATTSON HELIOS est un processeur thermique rapide qui utilise le chauffage direct pour effectuer des traitements thermiques de haute précision. Il est conçu pour traiter rapidement et efficacement les petits et grands lots de divers substrats semi-conducteurs. HELIOS offre des capacités avancées pour le recuit, le frittage, le collage et le durcissement des matériaux, sans besoin de vide in situ. Avec des capacités de stations multiples, MATTSON HELIOS est polyvalent pour les applications pilotes et de production. L'équipement de distribution directe d'énergie thermique (DTED) d'HELIOS utilise plusieurs technologies innovantes pour assurer des traitements de substrat précis et de haute qualité. Sa technologie avancée de chauffage planaire (APH) répartit uniformément la chaleur sur la surface du substrat tandis que son système de contrôle thermique à trois points (TPTC) assure le plus haut degré de répétabilité. La technologie TPTC permet également des profils de température précis pendant le processus de traitement. MATTSON HELIOS offre une grande flexibilité pour un contrôle précis et répétable de la température. Le contrôleur de processus est équipé d'une rampe programmable et de points d'immersion multi-readpoints, ce qui simplifie la programmation et élimine le besoin de matériel supplémentaire. L'appareil est également conçu pour surveiller les paramètres clés de la machine tels que la pression de la chambre, la teneur en oxygène et le taux de refroidissement. Cela garantit le respect des normes critiques de contrôle de la qualité et des paramètres critiques de traitement thermique. En outre, HELIOS est conçu pour la mise en place rapide et le chargement de substrat. Ses capacités d'intégration avancées permettent un échange automatique de substrat. Ses fonctions indépendantes de stockage de cassettes permettent de rappeler facilement les paramètres du processus pour une référence future. La conception de l'armoire et des outils de tiroir aide à organiser la charge de travail et fournit une approche soignée et organisée pour un laboratoire de traitement thermique occupé. MATTSON HELIOS peut être configuré pour jusqu'à trois stations, en fonction des substrats utilisés. Il est disponible en plusieurs configurations de chambre et offre un entretien peu coûteux. En résumé, HELIOS est un outil de traitement thermique rapide de pointe qui fournit des traitements thermiques précis avec une excellente répétabilité et précision. Il convient aux petites et moyennes séries de production et offre aux utilisateurs la possibilité de programmer facilement les profils de température et de surveiller les paramètres clés du modèle. Ses capacités de conception et d'intégration efficaces permettent une installation rapide et un chargement de substrat.
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