Occasion MATTSON Millios #293647674 à vendre en France
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ID: 293647674
Style Vintage: 2008
Flash Rapid Thermal Processor (FRTP)
EFEM
MPSU Module
Service module
Process module
SCCT Rack
VFD Module
Power vaccine
Top side control
Storage rack
Voltage box
Accessories
2008 vintage.
MATTSON Millios est un processeur thermique rapide utilisé pour le chauffage, le refroidissement et le traitement rapides des plaquettes et substrats semi-conducteurs. Il est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1200 ° C en moins de 0,5 milli-secondes, ce qui lui permet d'effectuer des cycles de température sur un large éventail de matériaux et leurs épi-couches. Il utilise un système de chauffage MOSFET qui permet des vitesses de montée/descente rapides ainsi qu'un contrôle précis de la température (± 1 ° C). Millios est utilisé dans diverses applications telles que l'oxydation et la nitridation, les émulsions d'oxydation, le ténosage et le recuit, l'alignement des couches métalliques et le brûlage, et d'autres procédés de fabrication. MATTSON Millios est conçu avec un certain nombre d'innovations qui offrent des excursions thermiques réduites et des gradients de température plus bas, ainsi que des contraintes induites réduites et des profils d'oxydation améliorés. Ces caractéristiques aident à affiner le processus thermique et à créer des matériaux supérieurs qui conviennent bien aux différents besoins de la microélectronique moderne. La machine est équipée d'une chambre à atmosphère contrôlée offrant un environnement atmosphérique sûr pour encore plus de contrôle de la température. La chambre peut être pressurisée/dépressurisée pour des bains de vide ou d'atmosphère de gaz inerte selon les besoins. En outre, la machine comprend un système de refroidissement de pointe offrant des capacités de refroidissement supérieures et un temps de réponse de refroidissement maximal. Millios offre une interface utilisateur intégrée avancée basée sur un nouveau support graphique facile à utiliser et configurable. Cela aide les opérateurs rapidement et simplement mettre en place leur processus thermique désiré pour les meilleurs résultats. En tant que processeur thermique, MATTSON Millios est extrêmement fiable et est soutenu par un réseau de maintenance et de service inégalé. Ils portent des kits complets de pièces de rechange, permettant des remplacements rapides et faciles avec un minimum de temps d'arrêt. Dans l'ensemble, Millios est un processeur thermique rapide sophistiqué et innovant, doté de fonctionnalités conçues pour offrir aux utilisateurs des performances supérieures tout en offrant une flexibilité et une précision complètes. Il est conçu pour fournir précis, répétable et des rendements en offrant des capacités de chauffage et de refroidissement précises et fiables. Ce système de chauffage/refroidissement direct couplé à son interface utilisateur intégrée avancée et à sa fonction de maintenance complète garantit que MATTSON Millios continuera à fournir un fonctionnement fiable et sûr pendant de nombreuses années à venir.
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