Occasion MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293768994 à vendre en France

MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S est un processeur thermique rapide qui utilise la technologie innovante de traitement thermique rapide (RTP) pour fournir des résultats à haut débit, précis et reproductibles pour une variété d'applications et de processus. MPTC RTP-600S est spécialement conçu pour le traitement des plaquettes jusqu'à 400 mm dans les applications par lots ainsi que pour le traitement des plaquettes simples et des modules double face. Basé sur une plate-forme d'équipement modulaire, MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S contient deux composants principaux, l'unité de contrôle du cadre principal et la chambre de traitement. L'unité principale de contrôle du cadre comprend un étage linéaire motorisé fermé, un système d'entraînement, des boucles de sens thermique, un régulateur de température et une alimentation 4 zones. De plus, la chambre de procédé contient huit zones de température indépendantes, deux ports d'injection de vapeur de substrat, un ventilateur d'échappement et une zone de pré-refroidissement. La chambre a la capacité de ramper jusqu'à 1000 Celsius et contient la commande de mouvement PLC avec une vitesse maximale de 200mm/s et une résolution de 0.05um. Le module de contrôle comprend une interface utilisateur graphique (interface graphique) facile à utiliser pour l'alignement manuel et la programmation. RTP-600S est capable de gérer de multiples applications de procédés, y compris l'épaisseur de nitrure, l'oxynitrure de phosphore, le siliciure et l'ALD. De plus, sa configuration d'élément chauffant et son unité de régulation de température unique permettent un contrôle précis de la température et une uniformité dans toute la zone de travail. En outre, la machine comprend une unité cinétique de gaz tamponné qui fournit une source de gaz sous pression précise permettant une commutation rapide entre les gaz et des taux de réponse rapides. TECHNOLOGIE DE PROCÉDÉ MODULAIRE/Four MPTC RTP-600S est conçu pour offrir une fiabilité supérieure de l'outil, des cycles de processus rapides, une stabilité à long terme et une faible consommation d'énergie. Il peut être configuré en configuration simple ou double plaquette et est disponible avec plusieurs modules de traitement de substrat. De plus, sa conception permet une homogénéité de température, une répétabilité fiable et une stabilité à long terme. L'actif est également capable d'effectuer des étapes de processus en séquence ou indépendamment, ce qui permet une flexibilité dans différents processus. Dans l'ensemble, MPTC RTP-600S est un excellent choix pour des résultats à haut débit, reproductibles et précis. Avec son modèle modulaire innovant et sa technologie supérieure, MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S permet des cycles de processus rapides et des résultats fiables pour une variété d'applications et de processus.