Occasion MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #9241026 à vendre en France

MPTC/MPT MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S est un processeur thermique rapide conçu pour les procédés de recuit thermique à haut rendement. MPTC RTP-600S est équipé d'un seul capillaire haute vitesse qui peut fournir un processus de recuit ultra-rapide. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S chauffe le substrat semi-conducteur ou la plaquette du fond de la chambre de procédé avec deux lampes à quartz et atteint des températures de recuit thermique rapides (RTA) en quelques secondes. RTP-600S utilise un mécanisme de chauffage linéaire assurant un chauffage et un refroidissement uniformes le long de la surface de la plaquette. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S permet un contrôle et une précision de procédé inégalés grâce à sa conception brevetée de « point chaud profond radial » qui permet un réglage précis du profil de recuit thermique. MPTC RTP-600S offre une excellente flexibilité de processus afin de répondre aux besoins d'une variété de substrats et d'exigences d'application. Ce procédé supporte également une variété de plaquettes dont le silicium, le carbure de silicium et l'arséniure de gallium. De plus, la taille et la forme de la plaquette peuvent également être personnalisées en fonction des exigences de l'application. La conception des blocs chauffants linéaires est associée à un support de plaquettes compact qui permet un chargement et un déchargement de plaquettes faciles et fiables. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S les contrôleurs sont capables de traiter plusieurs requêtes de processus et offrent un excellent contrôle sur les paramètres de processus tels que la température et le temps. RTP-600S est également intégré avec un ventilateur de refroidissement intégré qui maintient la température de la tache chaude basse. Ce ventilateur intégré et l'utilisation de chauffages refroidis par air contribuent à réduire le temps de cyclage thermique et à diminuer la distorsion thermique. TECHNOLOGIE DE PROCÉDÉ MODULAIRE/La chambre de procédé MPTC RTP-600S est scellée sous vide, permettant de créer des joints quasi hermétiques pour empêcher l'infiltration de gaz et d'humidité et maintenir l'humidité loin des plaquettes pendant le traitement. Le procédé comprend également un système de distribution et d'échappement des gaz de bord pour permettre l'ajout de quantités contrôlées de gaz de procédé dans la chambre de traitement. MPTC RTP-600S est conçu pour une fiabilité et une robustesse maximales et peut effectuer plus de 500 cycles thermiques répétables sans avoir besoin d'un alignement de précision ou d'une configuration de processus spéciale. En outre, MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S suit les directives de sécurité et est certifié avec plusieurs protocoles de sécurité.