Occasion PREMTEK RTP 381 SA #9312338 à vendre en France

PREMTEK RTP 381 SA
ID: 9312338
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2011
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" 2011 vintage.
PREMTEK RTP 381 SA est un processeur thermique rapide avancé conçu pour offrir des performances supérieures avec un temps de cycle optimisé. RTP 381 SA utilise un système propriétaire de contrôle thermique en boucle fermée et des capacités de régulation de puissance avancées pour fournir une stabilité thermique précise et atteindre un taux de transfert thermique élevé. L'appareil peut traiter des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre et jusqu'à 25mm de hauteur. Il est conçu pour fournir un contrôle thermique répétable et fiable pour obtenir un traitement thermique de haute précision. Le système utilise le recuit basse pression d'azote (LNPA) et a des profils programmables de chauffage et de refroidissement. Il a une plage de température allant jusqu'à 1300 ° C et peut atteindre des niveaux de puissance de pointe jusqu'à 1500 watts pendant les cycles de rampe et de rafraîchissement. Les plaques de douche à flux continu permettent une répartition uniforme de la température sur la surface de la plaquette, ce qui améliore l'uniformité des processus. De plus, le dispositif dispose d'une unité de déplacement d'air double bras intégrée pour assurer un flux de chaleur uniforme à des positions variables sur la surface de la plaquette. PREMTEK RTP 381 SA peut être appliqué sur une variété de matériaux de substrat tels que le silicium, l'arséniure de gallium et d'autres matériaux semi-conducteurs. Le dispositif dispose de contrôles de sécurité avancés pour réduire les risques de surtensions accidentelles ou de fusions dangereuses. De plus, RTP 381 SA utilise des capteurs de force active pour assurer la surveillance en temps réel de la température de la plaquette, y compris la protection contre les fuites thermiques. PREMTEK RTP 381 SA a une variété d'ensembles de fonctionnalités pour améliorer l'efficacité et fournir un cycle de processus optimisé. Ces fonctionnalités comprennent les modes de mémoire programmables, l'historique de la température à plusieurs niveaux, l'étiquetage de la température à haute résolution, la correction de la température du motif de décalage et du motif de tache, et la correction de la température du motif réticulaire. En outre, le dispositif peut être personnalisé en fonction des besoins spécifiques de processus pour fournir les plus hautes performances sans compromettre la précision.
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