Occasion STEAG / AST / MATTSON 2800 #293821939 à vendre en France

STEAG/AST/MATTSON 2800 est un outil de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des applications avancées de traitement thermique. Cet équipement sophistiqué est conçu pour fournir un chauffage, un refroidissement et un recuit précis et uniforme des plaquettes semi-conductrices avec un débit et une précision élevés. Il joue un rôle crucial dans le processus de fabrication des circuits intégrés (CI) et autres dispositifs semi-conducteurs, assurant un traitement thermique optimal pour obtenir les propriétés et les performances souhaitées des matériaux. L'AST 2800 présente une construction robuste et un design innovant qui permet un traitement thermique rapide (RTP) des plaquettes de silicium avec un contrôle et une répétabilité exceptionnels. Le système comprend un mécanisme de bande transporteuse pour la manutention et le traitement efficaces des plaquettes, une chambre à haute température pour le chauffage des plaquettes et un logiciel de contrôle avancé pour la programmation et la surveillance des cycles de traitement thermique. Un des points forts de STEAG 2800 est ses capacités de chauffage et de refroidissement rapides, permettant des transitions de température rapides et précises lors des étapes de traitement thermique. Ce cyclage thermique rapide est essentiel pour réaliser des transformations de matériaux spécifiques, telles que l'activation dopante, la croissance d'oxyde et la cristallisation, tout en minimisant le budget thermique et les effets indésirables de diffusion. L'unité est équipée d'une source de chauffage haute performance, typiquement un banc de lampes halogènes ou un élément chauffant résistif, capable de délivrer un rayonnement infrarouge intense pour chauffer rapidement la surface de la plaquette. La machine de régulation de la température intègre des thermocouples, des pyromètres et des mécanismes de rétroaction pour contrôler et réguler avec précision la température de la plaquette dans une plage de tolérance étroite. En outre, 2800 offre une variété de gaz de procédé et d'environnements ambiants pour adapter les conditions de traitement thermique aux systèmes de matériaux spécifiques et aux exigences du procédé. Les régulateurs de débit de gaz, les systèmes de purge et les pompes à vide sont intégrés dans l'outil pour créer des atmosphères contrôlées ou effectuer des processus de recuit réactifs avec des capacités précises de dosage et de mélange des gaz. L'interface logicielle avancée de MATTSON 2800 offre aux utilisateurs un contrôle intuitif des paramètres de traitement thermique, de la programmation des recettes, de l'enregistrement des données et de la surveillance en temps réel des variables de processus. Cette interface conviviale améliore la productivité, la flexibilité des processus et la traçabilité des données, permettant aux ingénieurs et aux chercheurs d'optimiser et de reproduire facilement les recettes de traitement thermique. En outre, l'outil est conçu pour des environnements de fabrication à haut débit, avec une conception multi-chambres, une robotique de manutention des plaquettes et des capacités d'automatisation pour une intégration transparente dans les lignes de fabrication de semi-conducteurs. L'architecture modulaire et évolutive de STEAG/AST/MATTSON 2800 permet une personnalisation et une expansion faciles pour tenir compte des différentes tailles de plaquettes, des exigences de processus et des volumes de production. Dans l'ensemble, le processeur thermique rapide AST 2800 représente une solution de pointe pour le traitement thermique avancé dans l'industrie des semi-conducteurs, offrant des performances, une précision et une fiabilité inégalées pour obtenir des caractéristiques et un rendement supérieurs dans les procédés modernes de fabrication des semi-conducteurs.